[發明專利]俯仰可調的二維運動平臺

有效

• 申請號: 201310666040.5
• 申請日: 2013-12-11
• 公開（公告）號: CN103646671A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 王曉奎;曹國斌;王貴平;狄希遠;呂琴紅;姬臻杰;張志耀;霍灼琴;楊凱駿;楊衛;王海珍;田志峰;馬生生;孫麗娜
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二研究所
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00;G12B9/10
• 代理公司: 山西科貝律師事務所 14106
• 代理人: 陳奇

技術領域

本發明涉及一種俯仰可調的X?Y運動平臺，應用在精密機械特別是電子專用設備上，是一種俯仰姿態可調的四自由度運動平臺。

背景技術

在高精度倒裝芯片鍵合機上，二維運動平臺是其關鍵設備，在二維運動平臺上安裝有視覺系統的光學探頭裝置，用來實現對芯片和基板的精確對位，完成視覺掃描功能，光學探頭的仰俯姿態直接影響芯片和基板的對位精度?，F有二維運動平臺不具有俯仰功能，無法調整光學探頭的姿態。

發明內容

本發明提供了一種俯仰可調的二維運動平臺，解決了現有的倒裝芯片鍵合機的光學探頭的仰俯姿態無法調整的問題，使現有二維運動平臺具有俯仰功能。

本發明是通過以下技術方案解決以上技術問題的：

一種俯仰可調的二維運動平臺，包括大理石臺面，在大理石臺面上設置有XY平臺，在XY平臺的上方設置有俯仰調節直角三角板，在俯仰調節直角三角板的直角處底面上設置有固定支柱，在固定支撐柱的底端連接有固定支撐柱氣墊，在俯仰調節直角三角板的一銳角處設置有X向調節螺母，在俯仰調節直角三角板的另一銳角處設置有Y向調節螺母，X向調節螺桿的上端與X向調節螺母螺接在一起，X向調節螺桿的下端連接有X向調節螺桿氣墊，Y向調節螺桿的上端與Y向調節螺母螺接在一起，Y向調節螺桿的下端連接有Y向調節螺桿氣墊，固定支撐柱氣墊、X向調節螺桿氣墊和Y向調節螺桿氣墊均活動設置在大理石臺面上，在X向調節螺桿上連接有X向調節推桿，在Y向調節螺桿上連接有Y向調節推桿，在俯仰調節直角三角板的底面上設置有彈性片支撐座，在彈性片支撐座上設置有滾輪支撐軸，在滾輪支撐軸上設置有滾輪，長方形彈性片的一端活動設置在彈性片支撐座的滾輪上，長方形彈性片的另一端通過固定螺丁與俯仰調節直角三角板的底面固定連接在一起，在俯仰調節直角三角板的中部設置有螺栓孔，連接螺栓通過螺栓孔將長方形彈性片與XY平臺連接在一起。

在俯仰調節直角三角板上分別設置有X向調節推桿驅動千分頭和Y向調節推桿驅動千分頭，X向調節推桿驅動千分頭的輸出端通過連桿與X向調節推桿連接在一起，Y向調節推桿驅動千分頭的輸出端與Y向調節推桿連接在一起。

本發明在傳統的XY平臺設計上，以花崗巖構件平面作為XY運動平臺的安裝平面，XY運動平臺通過彈簧板驅動俯仰調節直角三角板,?俯仰調節直角三角板的姿態通過三個高度可調的氣墊來控制，氣墊和花崗巖平面間形成氣浮面，在XY運動過程中保持各自的高度。保持光學探頭姿態不變。提高了倒裝芯片鍵合機的工作效率。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖；

圖2是本發明的俯仰調節直角三角板3與XY平臺2的配合關系的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明進行詳細說明：

一種俯仰可調的二維運動平臺，包括大理石臺面1，在大理石臺面1上設置有XY平臺2，在XY平臺2的上方設置有俯仰調節直角三角板3，在俯仰調節直角三角板3的直角處底面上設置有固定支柱4，在固定支撐柱4的底端連接有固定支撐柱氣墊5，在俯仰調節直角三角板3的一銳角處設置有X向調節螺母10，在俯仰調節直角三角板3的另一銳角處設置有Y向調節螺母12，X向調節螺桿6的上端與X向調節螺母10螺接在一起，X向調節螺桿6的下端連接有X向調節螺桿氣墊7，Y向調節螺桿8的上端與Y向調節螺母12螺接在一起，Y向調節螺桿8的下端連接有Y向調節螺桿氣墊9，固定支撐柱氣墊5、X向調節螺桿氣墊7和Y向調節螺桿氣墊9均活動設置在大理石臺面1上，在X向調節螺桿6上連接有X向調節推桿11，在Y向調節螺桿8上連接有Y向調節推桿13，在俯仰調節直角三角板3的底面上設置有彈性片支撐座16，在彈性片支撐座16上設置有滾輪支撐軸17，在滾輪支撐軸17上設置有滾輪18，長方形彈性片15的一端活動設置在彈性片支撐座16的滾輪18上，長方形彈性片15的另一端通過固定螺丁14與俯仰調節直角三角板3的底面固定連接在一起，在俯仰調節直角三角板3的中部設置有螺栓孔19，連接螺栓20通過螺栓孔19將長方形彈性片15與XY平臺連接在一起。

在俯仰調節直角三角板3上分別設置有X向調節推桿驅動千分頭21和Y向調節推桿驅動千分頭22，X向調節推桿驅動千分頭21的輸出端通過連桿23與X向調節推桿11連接在一起，Y向調節推桿驅動千分頭22的輸出端與Y向調節推桿13連接在一起。

?本發明采用大理石臺面1作為通用兩級XY運動平臺的基礎，既X平臺固定在大理石臺面1上，Y平臺固定在X平臺上。俯仰調節直角三角板3通過長方形彈性片15連接到XY運動平臺。固定支撐柱氣墊5、X向調節螺桿氣墊7和Y向調節螺桿氣墊9，根據三點確定一個平面來確定長方形彈性片15的姿態，在調節過程中，其中一個氣墊保持不變，其余兩個高度可調，分別調整仰調節直角三角板3的俯仰和搖擺。在運動過程中，在XY方向上跟隨XY運動平臺；在搖擺方向上通過三個氣墊來控制，氣墊和花崗巖平面間形成氣浮面，在XY運動過程中保持各自的高度，保持仰調節直角三角板3姿態不變。