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[發明專利]墊料高度測量機自動補正方法及系統有效

專利信息
申請號: 201310665476.2 申請日: 2013-12-10
公開(公告)號: CN103673897A 公開(公告)日: 2014-03-26
發明(設計)人: 張岳妍;黃文德 申請(專利權)人: 深圳市華星光電技術有限公司
主分類號: G01B11/02 分類號: G01B11/02
代理公司: 深圳市順天達專利商標代理有限公司 44217 代理人: 蔡曉紅
地址: 518132 廣東*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 高度 測量 自動 補正 方法 系統
【說明書】:

技術領域

發明涉及液晶顯示器生產技術,更具體地說,涉及一種墊料高度測量機自動補正方法及系統。

背景技術

在液晶顯示器的生產過程中,墊料高度測量機是TFT-LCD制程重要的光學量測機臺,主要用于量測TFT基板與CF基板之間支撐物高度、線寬以及重疊情況等。墊料高度測量機的基本原理是利用白光干涉,從一個光源照射進入的光,分成兩條經過不同路線的光束,一條經反射鏡反射,另一條經要測物體的反射;兩條反射光束相互產生干這涉,以干涉波紋的差異來測量物體的高度。實際生產中,其光源為LED燈,LED燈的衰減或是品質問題或穩定性差,會導致發出的光亮度變異。亮度變異將會引起量測不穩定或者重大異常,從而無法正確反映產品真實特性,甚至誤判制程設備異常,造成重大生產異常。

所以,為了提高量測的穩定性,減少LED亮度變異造成的量測變異,需要建立一個針對LED亮度進行自動補正的方法和系統。

發明內容

本發明要解決的問題是,針對現有的墊料高度測量機的探測光源的亮度變異會造成量測的誤差,提供一種墊料高度測量機自動補正方法和系統,以克服上述的缺陷。

本發明所提供的墊料高度測量機自動補正方法,包括以下的步驟:

S1、在墊料高度測量機的機臺或外框開設載物孔,在載物孔中安裝補正樣片;

S2、使用墊料高度測量機的探頭對補正樣片進行拍攝,并選擇標準圖像;

S3、通過調節探頭電流以調節探頭拍攝圖像的亮度和灰階,使得探頭拍攝圖像的亮度和灰階與標準圖像匹配。

本發明的墊料高度測量機自動補正方法,步驟S1中,載物孔長度為1.5厘米至2.5厘米,寬度為1.5厘米至2.5厘米,深度為0.08厘米至0.12厘米。

本發明的墊料高度測量機自動補正方法,步驟S1中,補正樣片在載物孔后內的安裝高度低于機臺的臺面。

本發明的墊料高度測量機自動補正方法,其中步驟S2中,獲取標準圖像的步驟還包括:

調節探頭的光源電流以調節探頭獲取的圖像畫質,當探頭獲取圖像無斑紋且亮度最大時,判斷探頭獲取的圖像為標準圖像。

本發明的墊料高度測量機自動補正方法,還包括以下步驟:

S0、當進行手動補正的時候,在墊料高度測量機空閑時停止進料;當進行定時補正的時候,設定補正時間,并在達到補正時間時檢測當前墊料高度測量機是否處于空閑狀態,在墊料高度測量機空閑時停止進料。

本發明還提供一種墊料高度測量機自動補正系統,包括用于放置檢測樣品的機臺和圍繞在機臺外周的外框,還包括平行的設置在外框兩側的導軌,墊料高度測量機自動補正系統還包括可滑動的安裝在導軌上的檢測架和多個可滑動的安裝在檢測架上的探頭,每個探頭包括探測光源;

機臺上或者外框開設有載物孔,在載物孔中安裝有補正樣片;墊料高度測量機自動補正系統還包括與探頭連接,用于對補正樣片進行拍攝,并選擇標準圖像的標準圖像獲取模塊;以及與探頭及標準圖像獲取模塊連接,用于調節探頭的電流,進而調節探頭拍攝圖像的亮度和灰階,使得探頭拍攝圖像亮度和灰階與標準圖像匹配的標準圖像匹配模塊,。

本發明的墊料高度測量機自動補正系統,載物孔長度為1.5厘米至2.5厘米,寬度為1.5厘米至2.5厘米,深度為0.08厘米至0.12厘米。

本發明的墊料高度測量機自動補正系統,補正樣片在載物孔內的安裝高度低于機臺的臺面。

本發明的墊料高度測量機自動補正系統,標準圖像獲取模塊調節探頭的光源電流,當探頭獲取圖像無斑紋且亮度最大時,判斷探頭獲取的圖像為標準圖像。

本發明的墊料高度測量機自動補正系統,還包括與墊料高度測量機連接的補正模式選擇組件,

當補正模式選擇組件進行手動補正的時候,在墊料高度測量機空閑時停止進料;當補正模式選擇組件進行定時補正的時候,設定補正時間,并在達到補正時間時檢測當前墊料高度測量機是否處于空閑狀態,在墊料高度測量機空閑時停止進料。

實施本發明的墊料高度測量機自動補正方法及系統,對墊料高度測量機的檢測光源進行補正,使得光源的亮度更為穩定,從而保證了墊料高度測量機的測量準確性與檢測結果的穩定性;另外通過調節電流可以延長檢測光源的使用壽命。

附圖說明

以下結合附圖對本發明進行詳細說明,其中:

圖1為現有的墊料高度測量機的結構示意圖;

圖2為本發明一則優選實施例所提供的墊料高度測量機的結構示意圖;

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