[發(fā)明專利]一種ITO鍍膜生產(chǎn)線及生產(chǎn)工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310665255.5
• 申請日: 2013-12-11
• 公開（公告）號: CN103668082A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設計）人: 郭衛(wèi)軍
• 申請（專利權）人: 湖北優(yōu)泰顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56;C23C14/08
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種ITO鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于：它包括玻璃基片輸送線、基片夾具、夾具機械手和真空鍍膜機，真空鍍膜機設置于玻璃基片輸送線的右端；所述基片夾具用于裝夾玻璃基片，所述基基片夾具放置在玻璃基片輸送線上進行輸送，夾具機械手夾持基片夾具并將基片夾具放置于真空鍍膜機內(nèi)；所述真空鍍膜機包括有從左至右依次設置的SiO₂膜真空鍍膜室、ITO膜真空鍍膜室、穿透率檢驗室和阻抗特性檢驗室，真空鍍膜機還設置有穿設所述SiO₂膜真空鍍膜室、ITO膜真空鍍膜室、穿透率檢驗室和阻抗特性檢驗室的輸送帶。

2.一種ITO鍍膜生產(chǎn)工藝，其特征在于，它包括如下步驟：

第一步，配置ITO膜膠液：將一定量的銦溶解在濃酸鹽中得到InCl₃溶液，取出一定量的InCl₃溶液，與乙酰丙酮按1:2—1:3的摩爾比混合攪拌得到透明溶液；再按透明溶液與乙二醇甲醚的質量比為80:5的比例加入乙二醇甲醚，在室溫下攪拌，得到In溶膠；按In：Sn質量比為25:2的比例加入SnCl₄·5H₂O，攪拌20min得到In-Sn溶膠，然后按In-Sn溶膠與聚乙二醇的質量比為80:20的比例加入聚乙二醇，靜置40min得到ITO膜膠液；

第二步，將玻璃基片裝夾于基片夾具，基片夾具放置在玻璃基片輸送線上進行輸送，夾具機械手夾持基片夾具并將基片夾具放置于真空鍍膜機的SiO₂膜真空鍍膜室；

第三步，SiO₂膜真空鍍膜室對玻璃基片進行真空鍍膜，在玻璃基片的鍍膜面上鍍上一層30μm厚的SiO₂膜；

第四步，真空鍍膜機的輸送帶將玻璃基片輸送到ITO膜真空鍍膜室，ITO膜真空鍍膜室的蒸發(fā)源將第一步所配置的ITO膜膠液蒸發(fā)鍍于玻璃基片的SiO₂膜上，形成一層25μm厚的ITO膜；

第五步，真空鍍膜機的輸送帶將玻璃基片輸送到穿透率檢驗室，穿透率檢驗室對玻璃基片的穿透率進行檢驗并得到穿透率檢驗數(shù)據(jù)；

第六步，真空鍍膜機的輸送帶將玻璃基片輸送到阻抗特性檢驗室，阻抗特性檢驗室對玻璃基片的阻抗特性進行檢驗并得到阻抗特性檢驗數(shù)據(jù)；

第七步，根據(jù)穿透率檢驗數(shù)據(jù)和阻抗特性檢驗數(shù)據(jù)判斷產(chǎn)品是否為良品，良品即包裝起來。