[發明專利]硅片腐前清洗機用清洗框

有效

• 申請號: 201310659773.6
• 申請日: 2013-12-05
• 公開（公告）號: CN104690028B
• 公開（公告）日: 2017-01-25
• 發明（設計）人: 劉振福;翟洪升;嚴政先;甄紅昌;孫晨光
• 申請（專利權）人: 天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司12211
• 代理人: 孫春玲

技術領域

本發明涉及機械類技術領域，尤其涉及半導體硅片腐前清洗用的清洗框。

背景技術

隨著半導體硅片行業競爭的日益加大，產能的提升成為必然的趨勢，而目前的硅片腐前清洗機所配套的清洗框采用不銹鋼材料制造而成，質量較重，且結構單一清洗硅片時對硅片的尺寸有較多的限制，單批次清洗的硅片較少，遠遠不能滿足實際生產的需要。

發明內容

本發明要解決的問題是提供一種結構簡單、質量輕便、且單批次能夠清洗較多硅片數量的硅片的腐前清洗用清洗框。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于：包括框體底板、側板、擋板、橫桿和提手，所述框體底板上設有若干方孔，底板四邊的邊緣和中間梁上都均勻設有若干通孔，兩個所述側板設置在所述框體底板相對的兩側，其底部與所述框體底板固定連接，所述側板上設有若干圓孔，兩個所述擋板相對設置在所述框體底板的另兩側，其底部和兩端分別與所述框體底板和兩個側板固定連接，所述擋板上設有若干通孔，兩個所述橫桿分別平行設于兩個所述擋板的上邊，其兩端分別固定連接在兩個所述側板的上部，所述提手橫跨在所述框體底板的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個所述橫桿上。

兩排所述方孔對稱分布在所述底板上。

每排設有三個所述方孔，且三個所述方孔大小不等。

所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手設置在所述橫桿的一端，所述第二提手設置在所述橫桿的另一端，且距離橫桿端部有一定距離。

所述第二提手距離所述橫桿端部的距離為10cm-20cm。

所述第一提手和第二提手為一板狀，其兩側通過支座固定掛在所述橫桿上，其上端設有一桿，所述桿的兩端突出所述提手兩側，所述第一提手和第二提手上均設有圓形通孔。

所述側板上設有五個所述圓孔，其中上邊有兩個所述圓孔，下邊有三個所述圓孔。

所述框體底板、側板、擋板、橫桿和提手均采用PP塑料材質

本發明具有的優點和積極效果是：本發明的硅片腐前清洗機用清洗框多處開設有孔，在保證了清洗框被抓起、放下和挪動時的平穩性的同時，大大減輕了清洗框的質量，且該清洗框每批次清洗的硅片數量較多，增加了產能。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖。

圖中：

1、框體底板?2、側板?????3、擋板???4、橫桿

5、第一提手?6、第二提手?7、方孔???8、邊緣

9、中間梁???10、通孔????11、圓孔??12、圓形通孔

13、支座????14、桿

具體實施方式

以下結合附圖和實施例對本發明作進一步說明。

如圖1所示，本發明的硅片腐前清洗機用清洗框，包括框體底板1、側板2、擋板3、橫桿4和提手，提手包括第一提手5和第二提手6，所述框體底1上設有若干方孔7，框體底板1四邊的邊緣8和中間梁9上都均勻設有若干通孔10，兩個所述側板2設置在所述框體底板1相對的兩側，其底部與所述框體底板1固定連接，所述側板2上設有若干圓孔11，兩個所述擋板3相對設置在所述框體底板1的另兩側，其底部和兩端分別與所述框體底板1和兩個側板2固定連接，所述擋板3上設有若干通孔10，兩個所述橫桿4分別平行設于兩個所述擋板3的上邊，其兩端分別與兩個所述側板2固定連接，所述第一提手5和第二提手6均橫跨在所述框體底板1的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個所述橫桿4上。

兩排所述方孔7對稱分布在所述框體底板1上。

每排設有三個所述方孔7，且三個所述方孔7大小不等，其中中間的方孔7最大，兩個的方孔較小。

第一提手5設置在所述橫桿4的一端，所述第二提手6設置在所述橫桿4的另一端，且距離橫桿4端部有一定距離，第二提手6距離所述橫桿4端部的距離為5cm-15cm。

第一提手5和第二提手6為一板狀，其兩側通過支座13固定掛在所述橫桿4上，其上端設有一桿14，所述桿14的兩端突出所述提手兩側，所述第一提手5和第二提手6上均設有圓形通孔12。

所述側板2上設有五個所述圓孔11，上邊設有兩個所述圓孔11，下邊設有三個所述圓孔11。

所述框體底板1、側板2、擋板3、橫桿4和提手（包括第一提手5和第二提手6）均采用PP塑料材質。

聚丙烯(PP塑料)是繼尼龍之后發展的又一優良樹脂品種，它是一種高密度、無側鏈、高結晶必的線性聚合物，具有優良的綜合性能。未著色時呈白色半透明，蠟狀；比聚乙烯輕。透明度也較聚乙烯好，比聚乙烯剛硬。