[發明專利]多軸電容式加速度計

有效

• 申請號: 201310659201.8
• 申請日: 2013-12-06
• 公開（公告）號: CN103645345A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 汪建平;鄧登峰
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭微電子股份有限公司
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18;G01P15/125
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種多軸電容式加速度計，其特征在于，包括基底和XY軸結構層，所述XY軸結構層包括可動質量塊、中心錨點、彈性結構以及多個檢測電極，所述多個檢測電極用于檢測X方向和Y方向的加速度，所述可動質量塊與所述中心錨點和彈性結構相連，所述彈性結構為扇形折疊梁結構。

2.如權利要求1所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，所述多軸電容式加速度計還包括形成于所述基底上的布線，所述XY軸結構層的彈性結構與所述布線錯開設置。

3.如權利要求1所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，所述XY軸結構層包括八個檢測電極，所述八個檢測電極以所述中心錨點為中心呈輻射狀分布于其四周；其中四個檢測電極對稱分布于中心錨點的左右兩側，用于檢測X方向的加速度；另外四個檢測電極對稱分布于中心錨點的上下兩側，用于檢測Y方向的加速度。

4.如權利要求3所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，每個所述檢測電極均包括第一檢測電極以及兩個第二檢測電極，所述第一檢測電極與所述XY軸結構層的可動質量塊相連，所述兩個第二檢測電極固定于所述基底上。

5.如權利要求1所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，所述XY軸結構層還包括固定于所述基底上的多個止動塊，所述多個止動塊均勻分布于所述XY軸結構層的可動質量塊的周圍并與所述XY軸結構層的可動質量塊相連。

6.一種多軸電容式加速度計，其特征在于，包括基底和XY軸結構層，所述XY軸結構層包括可動質量塊、中心錨點、彈性結構以及多個檢測電極，所述多個檢測電極用于檢測X方向和Y方向的加速度，所述可動質量塊與所述中心錨點和彈性結構相連，所述中心錨點為具有缺口的結構，所述彈性結構為扇形折疊梁結構。

7.如權利要求6所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，所述中心錨點呈十字形，其十字交叉點處向內凹陷形成缺口。

8.如權利要求7所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，所述缺口為方形缺口或梯形缺口。

9.如權利要求6所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，所述多軸電容式加速度計還包括形成于所述基底上的布線，所述XY軸結構層的彈性結構與所述布線錯開設置。

10.如權利要求6所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，所述XY軸結構層包括八個檢測電極，所述八個檢測電極以所述中心錨點為中心呈輻射狀分布于其四周；其中四個檢測電極對稱分布于中心錨點的左右兩側，用于檢測X方向的加速度；另外四個檢測電極對稱分布于中心錨點的上下兩側，用于檢測Y方向的加速度。

11.如權利要求10所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，每個所述檢測電極均包括第一檢測電極以及兩個第二檢測電極，所述第一檢測電極與所述XY軸結構層的可動質量塊相連，所述兩個第二檢測電極固定于所述基底上。

12.如權利要求6所述的多軸電容式加速度計，其特征在于，所述XY軸結構層還包括固定于所述基底上的多個止動塊，所述多個止動塊均勻分布于所述XY軸結構層的可動質量塊的周圍并與所述XY軸結構層的可動質量塊相連。