[發明專利]一種穩定背壓的低溫容器蒸發率測量系統

在審

• 申請號: 201310659152.8
• 申請日: 2013-12-09
• 公開（公告）號: CN103697956A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 劉惠民;馮慧華;黃歡明;蘇晨光
• 申請（專利權）人: 上海齊耀動力技術有限公司
• 主分類號: G01F1/76
• 分類號: G01F1/76
• 代理公司: 上海碩力知識產權代理事務所 31251
• 代理人: 王法男

1.一種穩定背壓的低溫容器蒸發率測量系統，包括與低溫容器（1）氣相空間相連的氣體排放管路，在排放管上設置有放空閥（3）和氣體質量流量計（7），在氣體質量流量計（7）出口設置有一個用于穩定背壓的緩沖罐（11），在緩沖罐（11）上連接有通大氣環境的排放管（13），其特征在于：所述的系統還包括一個用于調節緩沖罐（11）壓力的背壓控制系統，其包括壓力傳感器（10）、可編程控制器（16）、計算機（15）、壓力控制器（21），以及快速補氣管路和快速排氣系統；所述的壓力控制器（21）用于通過計算機（15）和可編程控制器（16）控制緩沖罐（11）內壓力，其輸入端連接有計算機（15）、帶有壓力設定信號和反饋信號的可編程控制器（16），所述的壓力控制器（21）還連接有三個氣體控制接口，第一個接口連接快速排氣管路，快速排氣管路用于快速降低緩沖罐（11）內的壓力；第二個接口連接快速補氣系統，快速補氣系統用于快速向緩沖罐（11）補充氣體，提高罐內壓力；第三個接口通過壓力補償接管（12）連接緩沖罐（11）；所述的可編程控制器（16）的輸入端連接有氣體質量流量計（7）和壓力傳感器（10）。

2.根據權利要求1所述的穩定背壓的低溫容器蒸發率測量系統，其特征在于：所述的快速補氣系統由氮氣瓶（27）、減壓閥（26）、進氣高速開關電磁閥（24）和連接管路組成，氮氣瓶（27）中的氮氣經減壓閥（26）減壓后，再通過進氣高速開關電磁閥（24）控制，以給緩沖罐（11）補氣；快速排氣管路由高速排氣開關電磁閥(22)和與環境大氣連通的排氣管（23）構成。

3.根據權利要求1或2所述的穩定背壓的低溫容器蒸發率測量系統，其特征在于：所述的壓力傳感器（10）為絕對壓力傳感器，其測量誤差不超過±40Pa，布置在緩沖罐（11）和氣體質量流量計（7）之間。

4.根據權利要求1或2所述的穩定背壓的低溫容器蒸發率測量系統，其特征在于：在所述的氣體質量流量計（7）前，設置有一個用于對低溫氣體進行加熱用的換熱器（5）。

5.根據權利要求3所述的穩定背壓的低溫容器蒸發率測量系統，其特征在于：在所述的氣體質量流量計（7）前，設置有一個用于對低溫氣體進行加熱用的換熱器（5）。