[發明專利]搖擺式傳感器組件

有效

• 申請號: 201310656638.6
• 申請日: 2013-12-06
• 公開（公告）號: CN103674072A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 李嘉
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01D3/036
• 分類號: G01D3/036
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;劉華聯

技術領域

本發明涉及液晶顯示面板制造領域，具體涉及一種搖擺式傳感器組件。

背景技術

在液晶面板的制造過程中，其中用于制造液晶面板的玻璃基板在濕制程中會通過一至多個藥液腔室，藥液腔室內為強酸或強堿溶液。玻璃基板在通過濕制程中的腔室時通過搖擺式傳感器來傳遞基板的信息給下一道工序，即玻璃基板經過搖擺式傳感器時壓彎腔室內的搖擺式傳感器振子使振子擺動一個角度，玻璃基板與傳感器振子分離后，振子復位從而傳遞信號給下一道工序，下一道工序做好接收玻璃基板的準備。但由于搖擺式傳感器工作在藥液環境中，若傳感器振子較長時間不使用，藥液風干容易造成振子粘連和/或回復力不夠，玻璃基板經過搖擺式傳感器后，振子不能彎曲和復位，不會發送信號給下一道工序的接收器。下一道工序接收器未接到信號，不能接收玻璃基板，導致玻璃基板長時間浸泡在強酸或強堿環境中，造成產品報廢，從而降低產品良率。而且一旦搖擺式傳感器出現故障而無法正常傳遞信號，需要關閉設備進行檢修，造成設備稼動率降低。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是，提供一種使傳感器振子不容易粘連、保證傳感器振子的回復力的搖擺式傳感器組件。

本發明的技術解決方案是，提供一種具有以下結構的搖擺式傳感器組件，包括支架和傳感器振子，支架上設有銷軸，傳感器振子連接在銷軸上并能繞銷軸擺動，所述支架上還連接有通氣管，所述通氣管能對傳感器振子吹氣。

與現有技術相比，本發明的搖擺式傳感器組件具有以下優點：通過通氣管能對傳感器振子吹氣，從而即便是在傳感器振子長時間不使用出現藥液風干粘連或回復力不夠的情況下，通氣管吹出的氣體能給予傳感器振子以動力，使傳感器振子脫離粘連狀態，具有足夠的回復力，保證振子能復位。因而，在玻璃基板通過時能比較靈敏地反應玻璃基板的狀態，保證信號傳送正常，減少宕機和檢修，提高產品良率和設備稼動率。

在一個實施例中，所述通氣管上設有控制閥。通過控制閥來控制通氣管的開啟和關閉，從而能控制什么時候來開啟吹氣管吹氣，以及吹氣時間的長短。

在一個優選的實施例中，所述控制閥為電磁控制閥。使用電磁控制閥來控制通氣管的開啟和關閉，電磁控制閥相比手動控制閥方便進行遠程控制和遠程操作，容易實現自動化控制。

在優選的實施例中，所述通氣管為氟塑料管。氟塑料管耐強酸和強堿，在強酸或強堿的環境中不容易被腐蝕。進一步優選氟塑料管為四氟乙烯（全氟烷氧基樹脂PFA）管，PFA管能在強酸和強堿環境下使用，而且固定在支架上時不容易移動。

在一個實施例中，所述通氣管的內徑為4～10mm。在本實施例中優選內徑為5mm的通氣管。在現有技術中稱作細管，經過該通氣管的氣體的體積量較少，不會影響腔室內的壓力。

在優選的實施例中，所述通氣管內通入的氣體為潔凈干燥壓縮空氣。潔凈干燥壓縮空氣是指，大氣經壓縮機壓縮后除濕，再經過濾器或活性炭吸附去除粉塵及炭氫化合物以供給無塵室。通入的潔凈干燥壓縮空氣量少、干凈無污染，不容易對玻璃基板造成影響。

在進一步優選的實施例中，控制閥的進口經管子連接潔凈干燥壓縮空氣的供應端。保證潔凈干燥壓縮空氣的供應。

在一個實施例中，傳感器振子電連接有控制器，控制器上設有用于控制電磁控制閥的開啟與關閉的按鈕。通過控制器上的按鈕來對控制閥進行控制，尤其是傳感器較長時間沒使用，通過按鈕直接控制對傳感器振子進行吹掃以保證搖擺式傳感器的靈敏度。

在一個實施例中，通氣管的管口距離傳感器振子10～60mm。在這個距離內，通氣管內通氣量稍大一些或者稍小一些都能吹到傳感器振子以保證傳感器振子的靈敏度，而且傳感器振子在搖擺時不會碰撞到通氣管。

在優選的實施例中，通氣管的管口距離傳感器振子30mm。30mm是經過測試效果最好的距離，通氣管吹氣時對粘連的傳感器振子起到有效的作用。

附圖說明

圖1所示是本發明的搖擺式傳感器組件在玻璃基板經過時正常彎曲的一種具體實施例。

圖2所示是圖1中的搖擺式傳感器組件在玻璃基板經過時由于粘連不能正常彎曲和復位的結構示意圖。

圖3所示是圖1中的擺式傳感器組件中的支架與傳感器陣子連接的一種具體結構。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明。