[發(fā)明專利]一種拼貼法制備單片集成電容觸摸屏的動態(tài)掩模板系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310653210.6
• 申請日: 2013-12-05
• 公開（公告）號: CN103616804A
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曲魯杰;梅文輝;敦士軍
• 申請（專利權(quán)）人: 中山新諾科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/00;G03F9/00;G06F3/044
• 代理公司: 廣東中億律師事務(wù)所 44277
• 代理人: 覃向紅;杜海江

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種觸摸屏制作系統(tǒng)，特別是一種單片集成電容觸摸屏制作過程中的掩膜板系統(tǒng)。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)電容式觸摸屏是一塊多層復(fù)合玻璃屏，玻璃屏的內(nèi)表面和夾層各涂有一層導(dǎo)電層，最外層是一薄層玻璃保護層，這種觸摸屏結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，生產(chǎn)成本高。

基于OGS技術(shù)的觸摸屏把觸控玻璃(Touch?Sensor)與保護玻璃(Cover?Glass)集成在一起，亦即在一般的保護玻璃內(nèi)側(cè)鍍上ITO導(dǎo)電層，使該單片玻璃不僅具備保護玻璃的強度、安全性，同時也兼具觸控功能，被認為是手機等消費電子產(chǎn)品觸摸屏技術(shù)的發(fā)展趨勢，因此幾乎所有的觸控面板廠都著手開發(fā)單片集成玻璃解決方案。

單片玻璃解決方案已獲業(yè)界認可，為觸摸技術(shù)的發(fā)展方向，但在實際設(shè)計中卻會遇到各種問題。小片拼貼在大片載體上的大片制程模式以其高產(chǎn)量規(guī)模效益可實現(xiàn)工業(yè)化批量生產(chǎn)，拼貼法制作電容屏成為各方案中的首選，然而拼貼法制作電容屏存在關(guān)鍵的定位設(shè)計問題。

目前觸摸屏廠商主要采用平行光曝光模式：小片拼貼大片需采用膠水將兩層玻璃貼合在一起，因貼合過程中膠水的使用會導(dǎo)致小片玻璃定位后漂移的問題，貼合后片與片之間的位置偏差相差20um以上，角度也會出現(xiàn)偏差，而平行光曝光采用的阻擋光線的掩膜版為固定圖形，曝光后形成在玻璃上的圖形與小片定位之間存在角度和位置的偏差，導(dǎo)致產(chǎn)品無法順利量產(chǎn)。

很顯然，因以上定位問題，嚴重阻礙了集成電容觸摸屏的量產(chǎn)，不能滿足工業(yè)生產(chǎn)的需要。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種解決拼貼法制程中產(chǎn)品各圖層之間的高精度對位問題，使單片玻璃觸摸屏方案順利實現(xiàn)高效、高良率、規(guī)?；a(chǎn)的拼貼法制備單片集成電容觸摸屏的動態(tài)掩模板系統(tǒng)。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

（1）、承載板：所述承載板設(shè)置有身份識別信息，用于承載小片玻璃。

（2）、排版系統(tǒng)：用于將小片玻璃排列到承載板上。

（3）、視覺識別系統(tǒng)：用于抓取承載板的身份識別信息和各小片玻璃位置圖像，進行圖像識別，獲取承載板的身份識別碼和各小片玻璃在承載板上的坐標位置。

（4）、圖形處理系統(tǒng)：用于設(shè)計各小片玻璃所需的小片掩膜單元。

（5）、掩膜板拼貼系統(tǒng)：用于將獨立的小片掩膜單元按照對應(yīng)的小片玻璃坐標位置信息排列到掩膜板承載基板上，形成動態(tài)拼貼掩膜板。

（6）、光刻系統(tǒng)：利用平行光技術(shù)按掩膜板對小片玻璃進行光刻。

本發(fā)明的系統(tǒng)按照如下步驟制備單片集成電容觸摸屏：

A、母板及小片玻璃制作

a、將大片玻璃切割成若干個小片玻璃；

b、將各小片玻璃進行高溫化學(xué)強化并處理玻璃邊緣；

c、小片玻璃多道絲印烘干；

d、制作對位標識，在各小片玻璃及承載板上制作承載板身份信息標識和小片玻璃坐標位置標識；

B、承載母板玻璃絲印

a、承載母板清洗烘干后固定在貼片臺上，并通過對位標識及坐標原點確定承載母板在貼片臺上的位置；

b、按照掩膜板對應(yīng)小片掩膜單元位置，制作網(wǎng)板，通過視覺識別系統(tǒng)自動對位，絲印網(wǎng)板上對位標識與母板對位標識套合完全后絲印水溶性粘合劑；

C、小片玻璃對位貼合

a、將小片玻璃固定于發(fā)料機上，通過視覺識別系統(tǒng)圖像掃描，辨識出小片玻璃黑色內(nèi)邊框，并以固定一點為識別坐標點；

b、通過貼片機械手，按照掩膜板中預(yù)定小片玻璃位置，對應(yīng)母板零點，以識別坐標點，將小片玻璃按照相應(yīng)位移進行對位貼合在承載母板上；

D、識別小片玻璃位置和角度

視覺識別系統(tǒng)在X方向和Y方向進行兩維掃描整個承載母板上每個小片玻璃的圖形，同時在Z方向進行整版高度掃描，通過圖形成像后邊緣灰階的差異來抓取圖形邊緣，計算出曝光圖形填充的準確中心位置，高度和角度；

E、將獨立的小片掩膜單元按照各小片玻璃的坐標位置信息進行調(diào)整，形成曝光所需的動態(tài)拼貼掩膜板；

F、開啟曝光程序，由曝光系統(tǒng)按照動態(tài)拼貼掩膜板對小片玻璃曝光。