[發明專利]一種用于靜電誘導技術的超精密平行度調整與檢測系統

有效

• 申請號: 201310646737.6
• 申請日: 2013-12-04
• 公開（公告）號: CN103848393A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 魚衛星;劉國杰;王泰升;盧振武;孫強
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

1.一種用于靜電場誘導技術的超精密平行度調整與檢測系統，其特征在于：該系統包括：基片間距及平行度檢測與調整機構和基片固定制動裝置；所述基片間距及平行度檢測與調整機構包括至少一個距離傳感器、距離傳感器前置放大器及A/D轉換器、模塊化壓電陶瓷數字控制器和壓電陶瓷；所述根據反饋的距離傳感器信號經過距離傳感器前置放大器及A/D轉換器和模塊化壓電陶瓷數字控制器控制壓電陶瓷的位移量，從而實現對基片固定制動裝置上升、下降及偏轉的控制。

2.如權利要求1所述的用于靜電場誘導技術的超精密平行度調整與檢測系統，其特征在于所述距離傳感器為電容傳感器。

3.如權利要求1所述的用于靜電場誘導技術的超精密平行度調整與檢測系統，其特征在于：所述基片固定制動裝置包括：減震平臺、底座、下基片固定裝置及微動平臺和上基片固定裝置；所述底座固定于所述減震平臺上；所述上基片固定裝置和下基片固定裝置及微動平臺固定在所述底座上并且相對。

4.如權利要求3所述的用于靜電場誘導技術的超精密平行度調整與檢測系統，其特征在于：所述下基片固定裝置及微動平臺和上基片固定裝置設有基片抽真空孔，所述基片抽真空孔與真空泵相連，將基片分別真空吸附在下基片固定裝置及微動平臺和上基片固定裝置。

5.如權利要求3所述的用于靜電場誘導技術的超精密平行度調整與檢測系統，其特征在于所述基片固定制動裝置還包括上橋；所述上基片固定裝置通過上橋固定在所述底座上。

6.如權利要求1或3所述的用于靜電場誘導技術的超精密平行度調整與檢測系統，其特征在于：所述超精密平行度調整與檢測系統還包括液化固化系統，所述液化固化系統包括加熱裝置和紫外固化裝置，所述加熱裝置和紫外固化裝置位于所述下基片固定裝置及微動平臺的背面。

7.如權利要求1或3所述的用于靜電場誘導技術的超精密平行度調整與檢測系統，其特征在于：所述超精密平行度調整與檢測系統還包括基片電壓施加裝置，電壓施加裝置中包括直流高壓電源，所述直流高壓電源的電壓可調范圍在0—2000伏特，所述上基片連接高電壓零線并與整個系統外殼和大地相連，下基片連接至高壓電源的正極。

8.如權利要求7所述的用于靜電場誘導技術的超精密平行度調整與檢測系統，其特征在于在所述電壓施加裝置的外接高壓電路中串聯大電阻和滑動變阻器。