[發明專利]一種激光蝕刻TCO圖案的方法

無效

• 申請號: 201310646532.8
• 申請日: 2013-12-06
• 公開（公告）號: CN103737182A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 田元生;任華進
• 申請（專利權）人: 南京第壹有機光電有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 盧霞

技術領域

????本發明涉及一種激光蝕刻TCO圖案的方法，屬于激光蝕刻技術領域。

背景技術

????TCO是Transparent?Conductive?Oxide的英文縮寫,一般是通過磁控濺射的方法鍍在有機薄膜PET、玻璃（鈉鈣Na-Ca玻璃）或是硬性塑料（表面做過硬化處理的亞克力板）基板上，一般厚度只有幾百埃到幾千埃，這種透明導電薄膜具有較低電阻率、高可見光透過率等優良特性。目前透明導電膜分為三種：ZnO基TCO薄膜、多元TCO薄膜、高遷移率TCO薄膜。隨著電子產品的多樣化及高速發展，TCO薄膜廣泛地應用于平板顯示、太陽能電池、觸膜屏、OLED顯示或照明及其他光電器件領域。

????傳統的濕法化學試劑蝕刻加工方式需增加清洗劑，廢水處理等占地較大的設備，制作成本高、污染大，如果工藝控制不好還常出現光阻殘留等引起產品的缺陷。

????激光蝕刻TCO已出現多年，而且有很多好處，但一直沒被液晶行業、OLED顯示或照明等行業推廣使用，其中一個主要原因是：設計時繼承了濕法蝕刻的設計圖案，大部份圖案都要被蝕刻掉，導致蝕刻時間很長，效率低下。具個例子：激光光斑直徑是0.025mm，激光頻率100KHZ，光斑重疊率是2/3，假如需蝕刻面積為1平方米的TCO玻璃，則需要53小時左右，因此沒有商業價值。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術的不足之處，提供一種激光蝕刻TCO圖案的方法。

本發明的激光蝕刻TCO圖案的方法包括如下步驟：

1）繪制激光蝕刻圖形：使用繪圖軟件繪制好需要被斷開的TCO線條；

2）此圖案不用填充，將步驟1）中的圖形導入激光設備；

3）將TCO固定在激光設備的工作臺上，使用激光設備在TCO蝕刻出與步驟1）中的圖形一樣的單光斑線條。這條激光蝕刻過的線條能斷開相鄰兩邊的TCO，起到隔斷電流的作用。

所述的步驟3）中的線條為單光斑線條。

所述的步驟1）中繪圖時,以被斷開的TCO線條為基礎，在一邊再畫一條線條，線條間距大概為光斑直徑的1/3，所述的步驟3）中的線條為雙光斑線條。

所述的步驟1）中繪圖時,以被斷開的TCO線條為基礎，在兩邊各畫一條線條，線條間距大概為光斑直徑的1/3，所述的步驟3）中的線條為三光斑線條。

所述的繪圖軟件為AUTO?CAD、CORELDRAW或CAM。

????如圖1a和圖1b標識(2)的地方是需要想要的通電的地方，標識(1)為不需要通電的地方。傳統激光蝕刻方法是把標識(1)上所有的TCO均使用激光蝕刻掉，需要花很多的時間去蝕刻。而本發明是只需沿圖2a和圖2b中的線條蝕刻一圈即可，可節省大量的時間。

????本發明具有如下技術效果：蝕刻時間與蝕刻面積成正比關系，蝕刻線條的面積遠遠小于蝕刻一個面的面積，原來需要蝕刻的面積越大，采用本發明后節省的時間越多。能夠縮短激光蝕刻時間，提高生產效率。另外，如果使用單光斑線條來蝕刻，擔心玻璃基板上異物的影響，可用雙光斑線條或三光斑線條降低沒蝕刻斷開的可能性。

附圖說明

圖1a和圖1b為需要蝕刻的TCO的示意圖；

圖2a為與圖1a對應的TCO上需要蝕刻的線條示意圖；

圖2b為與圖1b對應的TCO上需要蝕刻的線條示意圖；

圖3是按照傳統方法蝕刻的實施例1的圖形；

圖4是按照本發明方法蝕刻的實施例1的圖形；

圖5是按照傳統方法蝕刻的實施例3的圖形；

圖6是按照本發明方法蝕刻的實施例3的圖形。

其中，1為不需要通電的地方；2為需要想要的通電的地方。

具體實施方式

????實施例1

本實施例中，激光蝕刻TCO圖案的方法，包括如下步驟：1）繪制激光蝕刻圖形：使用繪圖軟件繪制好需要被斷開的TCO線條；2）將步驟1）中的圖形導入激光設備；3）將TCO固定在激光設備的工作臺上，使用激光設備在TCO蝕刻出與步驟1）中的圖形一樣的線條。所述的步驟3）中的線條為單光斑線條。所述的繪圖軟件為AUTO?CAD、CORELDRAW或CAM。