[發明專利]玻璃基板運送臺車

無效

• 申請號: 201310645958.1
• 申請日: 2013-12-04
• 公開（公告）號: CN103848116A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 影山洋
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: B65D85/86
• 分類號: B65D85/86;B65D81/02
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 胡強

技術領域

本發明涉及在液晶顯示器等的制造時作為灰塵除去器適用的光刻用防塵薄膜組件的制造中使用的、特別是運送大型的玻璃基板的運送臺車。

背景技術

LSI、超LSI等的半導體制造或液晶顯示器等的制造中，要對半導體晶圓或液晶用原板進行光照射以制作圖案，此時使用的光掩?；蛑虚g掩模(以下稱“光掩模”)上如有灰塵附著，該灰塵就會對光進行吸收，或使光彎曲，由此轉印的圖案發生變形，邊沿不齊，另外，還會造成基地發黑等，從而使尺寸、品質、外觀等受損。

因此，這樣的操作通常在無塵室中進行，即使如此，要始終保持光掩模的清潔也是困難的，所以要在光掩模表面貼附作為除灰塵的防塵薄膜組件后在進行曝光。在該場合下，灰塵等異物就不會在光掩模的表面上直接附著，而附著在防塵薄膜組件上，在光刻時只要將焦點對準在光掩模的圖案即可，防塵薄膜組件上的異物就與轉印無關了。

這樣的防塵薄膜組件一般將由透光良好的硝化纖維素、醋酸纖維素或氟樹脂等構成的透明防塵薄膜組件膜貼附或接著在由鋁合金、不銹鋼、聚乙烯等構成的防塵薄膜組件框架的上端面而成。另外，在防塵薄膜組件框架的下端具有為了進行光掩模裝著的由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯基樹脂、丙烯酸樹脂等構成的粘著層以及以粘著層的保護為目的離型層(剝離片)。

雖然這樣的防塵薄膜組件在掩模貼附后對于防止異物從外部侵入封閉的內部的侵入是有效的，但是如在防塵薄膜組件本身有異物附著，而且該異物處于封閉的內部的情況下，難以防止異物向光掩模的異物附著。因此，不僅對于防塵薄膜組件本身，對于在構成防塵薄膜組件的防塵薄膜的制造中使用的玻璃基板也要求具有高的清潔性。

最近，由于大型大畫面的液晶顯示器面板等的出現，在玻璃基板的表面具有遮光膜以及抗蝕膜疊層的掩模板以及有圖案化的遮光膜形成的轉印掩模等，為具有一邊為700mm以上的大型尺寸的基板，對該基板進行表面不附著灰塵、污垢等且也沒有損傷的運送的基板運送盒是已知的。

例如，在專利文獻1中記載了一種使具有輪的基板保持具從密閉型的收納箱的側方可收可放的基板運送盒。在該基板運送盒中，收納箱內部的底面配置有橡膠材料等形成的可撓性的氣體管，該氣體管在運送中可以減輕震動。但可撓性的氣體管對由于地板以及道路的凹凸所產生的沖擊的緩和效果不夠，另外，橡膠素材料隨著時間的變化具有沖擊減緩效果逐漸減弱的問題。

另一方面，作為運送大型的玻璃基板的玻璃基板運送臺車，為了對運送時的由于地板以及道路的凹凸而受到的沖擊進行減緩，在臺車以及玻璃基板收納盒之間作為沖擊減緩材料夾入正方體的泡沫聚氨酯的運送臺車也是已知的。

但是，即使使用該泡沫聚氨酯的沖擊減緩材料的運送臺車，在運送時在盒蓋上使用的螺釘等會附著灰塵，在玻璃基板上會附著大量的異物，所以極少用于作為防塵薄膜組件膜的制造時使用的玻璃基板。

另外，泡沫聚氨酯，也會隨著時間的經過而老化，其沖擊減緩效果也會逐漸減少，會由于彎曲玻璃基板收納盒發生橫向錯離等，從而發生玻璃基板的損傷。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2007-250688號公報

發明內容

因此，本發明就是要解決這樣的問題，其目的是提供一種在大型玻璃基板運送時既可以減少在玻璃基板收納盒以及玻璃基板上產生的沖擊，也可以減少異物的附著，并且不發生由于橫向錯離產生的玻璃基板損傷的玻璃基板運送臺車。

本發明的玻璃基板運送臺車為運送在玻璃基板收納盒中收納的一邊的長度為至少1000mm、厚度超過10mm的大型方形玻璃基板運送臺車，其特征在于：具有可用叉狀運送手段處理的框體；在該框體的下部設置的車輪部；在將所述玻璃基板收納盒固定保持的同時，對在運送時所述玻璃基板收納盒以及所述方形玻璃基板上所產生的沖擊進行減緩的彈簧常數不同的至少兩種彈性體構成的沖擊減緩機構。

另外，本發明優選在至少兩種彈性體中至少一個彈性體，其在裝載玻璃基板收納盒時的自重下沉量為10～15mm的范圍，在2G的沖擊時的伸縮量為20～30mm的金屬彈簧，與金屬彈簧配合的彈性體，優選選自金屬彈簧、空氣彈簧或者防震橡膠。

發明效果

根據本發明，具有本發明的沖擊減緩機構的玻璃基板運送臺車，在可以對運送時的沖擊減緩的同時，還可以減少在玻璃基板收納盒內中收納的大型玻璃基板上的異物，并且可以對玻璃基板無損傷地保管以及運送。

附圖說明

圖1為處于承載了基板收納盒狀態的玻璃基板運送臺車的正面圖。

圖2為本發明的一個實施方式的圖1的A-A截面圖。