[發明專利]一種靶材厚度測量儀

在審

• 申請號: 201310645952.4
• 申請日: 2013-12-04
• 公開（公告）號: CN103644836A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 李勝斌;高連龍;董斌;車奉周
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及測量工具的技術領域，尤其涉及一種靶材厚度測量儀。

背景技術

靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。換言之，靶材是高速荷能粒子轟擊的目標材料，在濺射（Sputter）工藝中，當不同功率密度、不同輸出能能量的高能粒子與不同的靶材相互作用時，會產生不同的濺射效應。

在進行濺射工藝時，隨著基板上薄膜厚度的增加，靶材逐漸被消耗，靶材的厚度隨之減薄。靶材的余量厚度是影響設備工藝調整的重要參數，通過此參數，不但可以判斷靶材是否需要更換，而且還可以為設備工藝參數進行再次調整，以進一步提高靶材利用率而提供依據。

目前測量靶材余量厚度的專用工具采用傳統的測量工具：游標卡尺。測量時首先將具有平整表面的工具（例如鋼尺）平放在靶材的待測表面上，再用游標卡尺以鋼尺為基準測出鋼尺與靶材待測表面之間的距離，然后記錄此時游標卡尺測得的數據，最后根據靶材在進行濺射工藝之前的已知厚度，可以計算出靶材的余量厚度。此測量方法通常需要一個人手拿游標卡尺進行測量、并同時保持游標卡尺與鋼尺之間的垂直，另一個人記錄數據，但是手拿游標卡尺會不可避免地使游標卡尺晃動或傾斜，導致測量的數據不準確，而且此測量方法需要兩個人共同協作完成，操作過程較為繁瑣，降低工作效率。

發明內容

本發明的實施例提供了一種靶材測厚度量儀，不但能夠較好地提高測量數據的準確性，而且能夠簡化測量靶材厚度的測量過程、提高工作效率。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

本發明實施例提供了一種靶材厚度測量儀，包括支撐體，測距單元，所述支撐體用于設置在與靶材的待測區相對的一側，所述支撐體上支撐所述測距單元，所述測距單元與所述待測區相對設置，且所述測距單元用于測量所述靶材的厚度。

其中，所述支撐體包括底座和支撐板，所述支撐板固定在所述底座上，所述支撐板上支撐所述測距單元，所述支撐板設置在與所述靶材的待測區相對的一側。

其中，所述底座用于支撐在一平臺上，所述平臺用于支撐所述靶材，在所述靶材支撐在所述平臺上后，所述支撐板和所述靶材相互平行。

可選地，所述底座的數量為兩個，且設置在所述支撐體相對的兩側，在兩個所述底座支撐在所述平臺后，所述靶材位于兩個所述支撐體之間。

可選地，所述支撐板和所述底座一體成型。

進一步地，所述支撐板上設有滑槽，所述滑槽滑動連接有滑動件，所述滑動件上安裝所述測距單元。

進一步地，所述滑動件包括滑臺和滑塊，所述滑臺容納在所述滑槽內，所述滑臺和所述滑塊可旋轉的連接，通過旋轉所述滑塊使所述測距單元靠近或遠離所述靶材的待測區。

其中，所述滑塊上設有轉動旋鈕，通過所述轉動旋鈕使所述滑塊發生轉動。

進一步地，所述滑塊設有安裝孔，所述安裝孔內安裝所述測距單元，在所述滑塊垂直于所述支撐板時，所述安裝孔的軸向垂直于所述靶材的待測區。

優選地，所述測距單元為電子感應測距單元。

當所述測距單元為電子感應測距單元時，所述電子感應測距單元包括測量桿、彈簧、滾珠、電子感應刻度尺、控制器以及顯示組件，所述測量桿和所述彈簧安裝在所述安裝孔內，且所述測量桿的一端將所述彈簧壓縮在所述安裝孔內，所述測量桿的另一端伸出所述安裝孔、并與所述滾珠滾動連接，所述滾珠接觸所述靶材的待測區，所述電子感應刻度尺設置在所述測量桿上，且所述電子感應刻度尺設置在所述電連接所述控制器，所述控制器電連接所述顯示組件。

可選地，所述電子感應測距單元包括測距傳感器、控制器以及顯示組件，所述測距傳感器與所述靶材的待測區相對且安裝在所述滑塊上，所述測距傳感器電連接所述控制器，所述控制器電連接所述顯示組件。

進一步地，所述顯示組件包括顯示主體、以及嵌在所述顯示主體內的顯示屏，所述顯示主體安裝在所述滑塊上，且所述顯示主體上設有開關按鍵、歸零按鍵、最大值按鍵、最小值按鍵以及平均值按鍵。