[發明專利]一種顯微分析裝置

有效

• 申請號: 201310642933.6
• 申請日: 2013-12-02
• 公開（公告）號: CN104677865B
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發明（設計）人: 吳宗斌
• 申請（專利權）人: 大連光耀輝科技有限公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G02B21/36
• 代理公司: 北京元周律知識產權代理有限公司11540
• 代理人: 張瑩

1.一種顯微分析裝置，其特征在于，包括激光光源裝置(10)、光傳導裝置(12)、隨機光學重構顯微裝置(14)、原子力顯微裝置(16)、樣品承載裝置(18)和信息整合輸出裝置(20)；

所述激光光源裝置(10)提供的光源束由光傳導裝置(12)導入光學重構顯微裝置(14)，對樣品承載裝置(18)上待測樣品的某一位置進行光學重構顯微成像；同時，原子力顯微裝置(16)對所述待測樣品的同一位置進行原子力顯微成像；信息整合輸出裝置(20)將隨機光學重構顯微裝置(14)的成像信息和原子力顯微裝置(16)的成像信息經整合輸出；

所述隨機光學重構顯微裝置(14)包括半透半反分光鏡(140)、物鏡(142)、反射鏡(144)和檢測器(146)；所述光源束進入光學重構顯微裝置(14)后，經半透半反分光鏡(140)、物鏡(142)照射在待測樣品的某一位置上，樣品發出的熒光經反射鏡(144)達到檢測器(146)上進行成像；

所述樣品承載裝置(18)包括樣品臺(180)和方位控制器(182)；

所述原子力顯微裝置(16)包括激光器(1640)；

所述光傳導裝置(12)為一組折射鏡片；激光光源裝置(10)提供的光源束經折射后進入光學重構顯微裝置(14)；或

所述光傳導裝置(12)為光纖傳導裝置，包含光路衰減器(120)、光纖耦合器(122)和光纖(124)；激光光源裝置(10)提供的光源束經光路衰減器(120)和光纖耦合器(122)后，由光纖(124)導入光學重構顯微裝置(14)。

2.根據權利要求1所述的顯微分析裝置，其特征在于，所述激光光源裝置包括激光器(100)和激光匯聚裝置(102)；所述激光器(100)發出的激光，經激光匯聚裝置(102)匯聚成光源束。

3.根據權利要求2所述的顯微分析裝置，其特征在于，所述激光器(100)的數量大于等于2，其中至少有2個激光器發射的激光波長不同。

4.根據權利要求2所述的顯微分析裝置，其特征在于，所述激光匯聚裝置(102)包括一組半透半反分光鏡片。

5.根據權利要求4所述的顯微分析裝置，其特征在于，所述激光匯聚裝置(102)中半透半反分光鏡片的數量與激光器(100)的數量相同。

6.根據權利要求1所述的顯微分析裝置，所述方位控制器(182)控制著樣品臺(180)在三維方向的移動、旋轉。

7.根據權利要求1所述的顯微分析裝置，所述原子力顯微裝置(16)包括微小懸臂(160)、壓電陶瓷管掃描器(162)和激光位置檢測器(164)。

8.根據權利要求1所述的顯微分析裝置，所述隨機光學重構顯微裝置(14)位于樣品承載裝置(18)下方，原子力顯微裝置(16)位于樣品承載裝置(18)上方。

9.根據權利要求1所述的顯微分析裝置，其特征在于，所述隨機光學重構顯微裝置(14)包括半透半反分光鏡(140)、物鏡(142)、反射鏡(144)、檢測器(146)和透鏡(148)；所述光源束由光纖(124)導入光學重構顯微裝置(14)，由透鏡(148)擴束后，經半透半反分光鏡(140)、物鏡(142)照射在待測樣品的某一位置上，樣品發出的熒光經反射鏡(144)達到檢測器(146)上進行成像。

10.根據權利要求9所述的顯微分析裝置，其特征在于，所述檢測器(146)為電荷耦合陣列檢測器。