[發明專利]一種納米薄膜轉運工裝

有效

• 申請號: 201310639838.0
• 申請日: 2013-12-02
• 公開（公告）號: CN103640912A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 高翔
• 申請（專利權）人: 中國航天科技集團公司第五研究院第五一三研究所
• 主分類號: B65H5/08
• 分類號: B65H5/08;B65H5/14
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 付雷杰;楊志兵

1.一種納米薄膜轉運工裝，其特征在于，包括：中空的結構盒體、氣流發生部分、吸頭、觸膜網板和密封圈；

其中，氣流發生部分安裝在結構盒體的內部上端，用來在結構盒體內的中空腔體中產生向上或向下的氣流；

吸頭安裝在結構盒體的下部末端，吸頭向上突起部分與結構盒體下部螺紋連接，結構盒體與吸頭之間安裝有O型密封圈；

觸膜網板為蜂窩狀網板，鑲嵌在吸頭中。

2.如權利要求1所述的納米薄膜轉運工裝，其特征在于，所述氣流發生部分包括定值吸附葉片、吹壓葉片、吸附控制開關和吹壓控制開關；其中，定值吸附葉片和吹壓葉片安裝在結構盒體上，上下對裝，下端為定值吸附葉片，上端為吹壓葉片。

3.如權利要求1或2所述的納米薄膜轉運工裝，其特征在于，進一步包括氣流調節部分，氣流調節部分位于結構盒體中空腔體外部，用來改變中空腔體內氣流壓力。

4.如權利要求3所述的納米薄膜轉運工裝，其特征在于，所述氣流調節部分包括氣壓調節環和氣壓調節孔；在結構盒體中空腔體外設置氣壓調節孔，氣壓調節環覆蓋在氣壓調節孔上，氣壓調節環上設有與氣壓調節孔對應的孔。

5.如權利要求1所述的納米薄膜轉運工裝，其特征在于，所述觸膜網板與吸頭底面之間間隔一定的距離。

6.如權利要求1所述的納米薄膜轉運工裝，其特征在于，所述觸膜網板的孔徑為0.1mm，與納米薄膜同種基材、相同形狀，所述觸摸網板厚10mm，其中5mm被鑲嵌在吸頭中，5mm裸露在外。

7.如權利要求1所述的納米薄膜轉運工裝，其特征在于，所述吸頭外側設有止口定位法蘭。

8.如權利要求1所述的納米薄膜轉運工裝，其特征在于，所述結構盒體外側設置靜電引出接頭進行接地。

9.如權利要求1所述的納米薄膜轉運工裝，其特征在于，所述結構盒體頂部設置防塵罩。

10.如權利要求1所述的納米薄膜轉運工裝，其特征在于，所述結構盒體為鋁合金。