[發明專利]一種具有雙溫控制功能的加熱器的加工方法

有效

• 申請號: 201310637094.9
• 申請日: 2013-12-03
• 公開（公告）號: CN103619083A
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發明（設計）人: 馮昌延
• 申請（專利權）人: 靖江先鋒半導體科技有限公司
• 主分類號: H05B3/42
• 分類號: H05B3/42;H05B3/02
• 代理公司: 靖江市靖泰專利事務所 32219
• 代理人: 陸平

1.一種具有雙溫控制功能的加熱器的加工方法，

其特征在于:加工步驟如下：

采用高均勻度的鋁合金加熱器主體；

采用高性能的耐熱鎳鉻鐵合金外殼加熱管；

加熱管安裝入加熱器主體；由考慮氣體的熱膨脹系數的蓋板焊接密封；

d.采用雙接口熱電偶，插入加熱器主體帶U形溝槽面的中央孔中，精確測量控制加熱器溫度；

e.冷卻加熱管道設置在加熱管上表面；分別使用冷或熱的氣體通過冷卻加熱管道來冷卻或加熱；

f加熱器上加工密封面，保證生產時腔室的真空度。

2.根據權利要求1所述的一種具有雙溫控制功能的加熱器的加工方法，其特征在于:所述的步驟a.采用高均勻度的鋁合金加熱器主體為:?（a）使用直徑260mm的6061鋁合金，切割，擠壓成直徑125mm；（b）切割鍛造到設計圖紙尺寸；（c）熱處理；（d）微觀結構檢測均勻度。

3.根據權利要求1所述的一種具有雙溫控制功能的加熱器的加工方法，其特征在于:所述的步驟b.?采用高性能的耐熱鎳鉻鐵合金外殼加熱管為:?（a）加熱管的外圈采用耐熱鎳鉻鐵合金；（b）控制加熱管內部加熱絲的電阻值在13.2Ω-16.2Ω之間；（c）通過循環測試，在100度到500度之間循環，每個循環時間為1小時，保證加熱器的溫度均勻。

4.根據權利要求1所述的一種具有雙溫控制功能的加熱器的加工方法，其特征在于:所述的步驟c.?加熱管安裝入加熱器主體，由考慮氣體的熱膨脹系數的蓋板焊接密封:?（a）加熱器主體加工放置加熱管的溝槽，溝槽截面為U型；（b）在加熱管的出口處設計成圓弧過渡形狀，對加熱管起導向作用，確保加熱器主體與加熱管全程緊密貼合；（c)使用考慮氣體的膨脹系數的雙層蓋板焊接，保證加熱器的密封性。

5.根據權利要求1所述的一種具有雙溫控制功能的加熱器的加工方法，其特征在于:所述的步驟d.?采用雙接口熱電偶，插入加熱器主體帶U形溝槽面的中央孔中，精確測量控制加熱器溫度:?（a）專門設計的K型雙接頭熱電偶，帶有兩種接頭；（b）一路接頭連接溫度顯示儀，方便觀測調整溫度，另一路連接溫度控制裝置，精確控制溫度。

6.根據權利要求1所述的一種具有雙溫控制功能的加熱器的加工方法，其特征在于:所述的步驟e.冷卻加熱管道設置在加熱管上表面；?分別使用冷或熱的氣體通過冷卻加熱管道來冷卻或加熱加熱器；通過控制系統準確快速調節加熱器溫度，實現不同工作溫度的快速轉換。

7.根據權利要求1所述的一種具有雙溫控制功能的加熱器的加工方法，其特征在于:所述的步驟f.?加熱器上加工密封面，保證生產時腔室的真空度:打磨研磨密封面，和腔體上的密封圈緊密配合，保證腔室的真空度快速實現。