[發明專利]自動批量化MEMS加速度傳感器靜態翻滾試驗裝置

有效

• 申請號: 201310637072.2
• 申請日: 2013-12-03
• 公開（公告）號: CN103592466A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 石云波;劉俊;唐軍;馬宗敏;丑修建;趙赟;薛彥輝;于春華
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00
• 代理公司: 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100
• 代理人: 朱源

技術領域

本發明涉及MEMS加速度傳感器的標定校準技術，具體是一種自動批量化MEMS加速度傳感器靜態翻滾試驗裝置。

背景技術

MEMS加速度傳感器因其具有體積小、重量輕、成本低、可靠性好、功耗低、測量范圍大等一系列優點，而被廣泛應用于汽車電子、無線通信、生物醫學、航空航天、工業、農業等領域。MEMS加速度傳感器無論在研制后還是使用前，均需要進行性能參數的標定校準，以保證MEMS加速度傳感器在實際應用中的精度。根據不同的標定校準要求，MEMS加速度傳感器通常要進行力學試驗、環境試驗以及長時間的穩定性和重復性試驗。其中，力學試驗又分為靜力學試驗和動力學試驗。靜力學試驗又分為重力場靜態翻滾試驗、離心試驗等。重力場靜態翻滾試驗是指：將重力加速度在MEMS加速度傳感器輸入軸的分量作為輸入量，并通過利用等角度分割的多點翻滾程序或加速度增量線性程序，來標定校準MEMS加速度傳感器的各項靜態性能參數的試驗。在現有技術條件下，MEMS加速度傳感器的重力場靜態翻滾試驗主要通過光學分度頭、離心機、精密轉臺等各種靜態標定測試設備來實現。實踐表明，以上各種靜態標定測試設備因其自身結構所限，存在如下問題：其一，在進行重力場靜態翻滾試驗時，現有MEMS加速度傳感器靜態標定測試設備是將MEMS加速度傳感器裝卡在加載平臺上進行靜態測試。如果需要進行動態測試，則還需要人工手動將MEMS加速度傳感器與加載平臺進行分離，由此導致操作繁瑣，從而導致標定校準耗時多、標定校準效率低。其二，在進行重力場靜態翻滾試驗時，現有MEMS加速度傳感器靜態標定測試設備只能對單件MEMS加速度傳感器進行手動標定校準，而無法對批量MEMS加速度傳感器進行自動標定校準，由此同樣導致標定校準耗時多、標定校準效率低。其三，由于現有MEMS加速度傳感器靜態標定測試設備的體積較大，導致其只能在常溫下對MEMS加速度傳感器進行標定校準，而無法在溫濕度可變的環境下對MEMS加速度傳感器進行標定校準，從而導致標定校準能力有限。基于此，有必要發明一種全新的MEMS加速度傳感器靜態標定測試設備，以解決現有MEMS加速度傳感器靜態標定測試設備標定校準耗時多、標定校準效率低、以及標定校準能力有限的問題。

發明內容

本發明為了解決現有MEMS加速度傳感器靜態標定測試設備標定校準耗時多、標定校準效率低、以及標定校準能力有限的問題，提供了一種自動批量化MEMS加速度傳感器靜態翻滾試驗裝置。