[發明專利]可檢測污染層的環境傳感器

有效

• 申請號: 201310636598.9
• 申請日: 2013-12-02
• 公開（公告）號: CN103852110A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 艾利·阿莫爾·邊赫迪;曼維·阿加瓦爾
• 申請（專利權）人: NXP股份有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 呂雁葭

1.一種環境傳感器，其特征在于，包括：

包含光傳感器的半導體襯底；

表層，環境光可以通過該表層傳遞到達光傳感器；和

光源，該光源被設置為照亮表層，從而該表層反射該光源的至少一部分光到光傳感器上；

其中，所述環境傳感器被設置為通過比較壞境光和至少一個光傳感器的反射光的測量值來確定該表層上污染層的存在。

2.根據權利要求1所述的環境傳感器，其特征在于，包括至少一個另外的傳感器。

3.根據權利要求1或2所述的環境傳感器，其特征在于，所述光傳感器和光源被集成在共同的半導體襯底中。

4.根據前述任一權利要求所述的環境傳感器，其特征在于，所述光傳感器，光源和另外的傳感器分別集成在共同的襯底上，其中，至少一個另外的傳感器位于所述襯底的第一區域，所述光源和光傳感器位于所述襯底的第二區域，通過表層避免將第二區域暴露在環境中，將第一區域暴露在環境中。

5.根據前述任一權利要求所述的環境傳感器，其特征在于，所述光源是LED裝置。

6.根據前述任一權利要求所述的環境傳感器，其特征在于，該環境傳感器被設置為分析接收到的光的頻譜來區分不同類的環境光源。

7.根據前述任一權利要求所述的環境傳感器，其特征在于，所述表層在環境傳感器的封裝中，包括窗口。

8.根據前述任一權利要求所述的環境傳感器，其特征在于，所述表層包括沉積在半導體襯底上的材料。

9.根據權利要求8所述的環境傳感器，其特征在于，所述沉積在半導體襯底上的材料包括氮化硅，氮氧化硅或二氧化硅。

10.一種環境管理系統，其特征在于，包括至少一個根據前述任一權利要求所述的環境傳感器。

11.一種操作環境傳感器的方法，其特征在于，包括包含光傳感器的半導體襯底、表層和光源，其中，環境光可以通過該表層傳遞到達光傳感器，該光源被設置為照亮表層，從而該表層反射該光源的至少一部分光到光傳感器上，該方法包括：

通過比較壞境光和至少一個光傳感器的反射光的測量值來確定該表層上污染層的存在。

12.根據權利要求11所述的方法，其特征在于，還包括：

進行第一測量，包括鑒于光源關閉的情況，測量經過表層的環境光的強度；和

進行第二測量，包括鑒于光源開啟的情況，測量到達光傳感器的光的強度；和

將第二測量強度減去第一測量強度；和

用該相減的結果來確定反射光的強度。

13.根據權利要求11所述的方法，其特征在于，包括在沒有環境光的情況下，通過光傳感器測量沒有污染層的表層反射光源后的光的強度，用作為干凈透明表層的校準光強度特性。

14.根據權利要求11至13任一項所述的方法，其特征在于，分析接收到的光的頻譜來區分不同類的環境光源。

15.根據權利要求11至14任一項所述的方法，其特征在于，包括使用環境光和反射光的頻率特性來確定污染層的結構或厚度。