[發明專利]用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器

有效

• 申請號: 201310634131.0
• 申請日: 2013-12-02
• 公開（公告）號: CN103575347A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 王登攀;王露;方鑫;楊靖;鮮曉軍
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二十六研究所
• 主分類號: G01F1/66
• 分類號: G01F1/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器，其特征在于：所述用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器包括底座、蓋板、PVDF薄膜、上電極、下電極、第一橡膠圈、第二橡膠圈及彈性墊塊，所述底座的上表面上開設有凹槽，所述蓋板的下表面上突設有凸塊，所述第一橡膠圈設置于底座的凹槽內，所述第二橡膠圈套設于蓋板的凸塊上，所述PVDF薄膜設置于蓋板與底座之間且與第一橡膠圈及第二橡膠圈相接觸，所述PVDF薄膜的外側還通過彈性墊塊與蓋板的下表面相接觸以及直接與底座的上表面相接觸，所述PVDF薄膜與彈性墊塊之間設置有上電極，所述PVDF薄膜與底座的上表面之間設置有下電極。

2.如權利要求1所述的用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器，其特征在于：所述底座呈圓柱狀，且其內部的凹槽為階梯狀。

3.如權利要求1所述的用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器，其特征在于：所述底座呈圓柱狀，自所述底座的表面沿著圓柱的高度方向向下開設有第一凹槽，自所述第一凹槽的底部繼續沿著圓柱的高度方向向下開設有第二凹槽，所述第一凹槽的直徑大于第二凹槽的直徑。

4.如權利要求3所述的用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器，其特征在于：所述第一橡膠圈的外徑與第一凹槽的內徑相等，且所述第一橡膠圈的高度與第一凹槽的深度相同。

5.如權利要求1所述的用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器，其特征在于：所述蓋板呈圓柱狀，所述凸塊突設于蓋板的下表面的中間位置。

6.如權利要求1所述的用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器，其特征在于：所述凸塊中開設有一貫通整個蓋板的通孔，所述用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器還包括保護膜，所述保護膜設置于蓋板的上表面，用于密封所述凸塊中的通孔。

7.如權利要求1所述的用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器，其特征在于：所述PVDF薄膜、上電極以及彈性墊塊之間采用粘接劑進行粘結。

8.如權利要求1所述的用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器，其特征在于：所述PVDF薄膜、下電極以及底座之間采用粘接劑進行粘結。

9.如權利要求1所述的用于氣流檢測的PVDF超聲傳感器，其特征在于：所述蓋板及底座上各對應設置有若干螺孔，所述蓋板及底座通過若干螺栓及螺帽進行固定連接。