[發(fā)明專利]形狀測(cè)定方法及形狀測(cè)定裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310631384.2
• 申請(qǐng)日: 2013-12-02
• 公開（公告）號(hào): CN103852048A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 土居正照
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01B21/20
• 分類號(hào): G01B21/20;G01B11/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 雒運(yùn)樸

1.一種形狀測(cè)定方法，其中，

準(zhǔn)備觸針，該觸針借助來自測(cè)定面的測(cè)定力而被支承為能夠相對(duì)于測(cè)頭位移，

重復(fù)包括平行移動(dòng)和正交移動(dòng)在內(nèi)的所述測(cè)頭的相對(duì)于所述測(cè)定面的相對(duì)移動(dòng)，所述平行移動(dòng)使所述觸針相對(duì)于所述測(cè)定面而向與所述測(cè)定面平行的方向移動(dòng)指定的距離，所述正交移動(dòng)使所述測(cè)頭向根據(jù)當(dāng)前的觸針位置與過去的觸針位置之差而算出的所述測(cè)定面的法線方向移動(dòng)，使得在包括所述觸針的位置相對(duì)于所述測(cè)頭的位置的位移量和位移方向在內(nèi)的觸針位移矢量的所述測(cè)定面上使法線方向的大小成為預(yù)先確定的壓入量的設(shè)定值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測(cè)定方法，其中，

在重復(fù)所述測(cè)頭的相對(duì)于所述測(cè)定面的相對(duì)移動(dòng)之前，以使所述觸針在與已知的所述測(cè)定面正交的方向上移動(dòng)的方式使所述測(cè)頭移動(dòng)，使所述觸針與所述測(cè)定面接觸，且在所述觸針位移矢量的所述測(cè)定面的法線方向的大小成為所述壓入量的設(shè)定值以上時(shí)停止測(cè)頭的移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的形狀測(cè)定方法，其中，

所述平行移動(dòng)由以下的式子表示。

Mih=LcSi-Si′|Si-Si′|]]>

M_ih：平行移動(dòng)的大小和方向(矢量)

Lc：移動(dòng)量(標(biāo)量)

S_i：當(dāng)前的觸針位置(矢量)

S_i′：過去的觸針位置(矢量)

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的形狀測(cè)定方法，其中，

所述正交移動(dòng)由以下的式子表示。

Miv=(DVi-C)Ni|Ni|]]>

M_iv：正交移動(dòng)的大小和方向(矢量)

DV_i：當(dāng)前的測(cè)頭位置Pi處的法線方向的壓入量(標(biāo)量)

C：壓入量的設(shè)定值(標(biāo)量)

N_i：法線方向矢量

N_i＝(S_i-S_i-1)×Uz

S_i：當(dāng)前的觸針位置(矢量)

S_i-1′：過去的觸針位置(矢量)

Uz：?jiǎn)挝皇噶?/p>