[發明專利]一種薄膜太陽能電池窗口材料SnO2的制備方法

在審

• 申請號: 201310630259.X
• 申請日: 2013-12-02
• 公開（公告）號: CN104674188A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發明（設計）人: 譚秀航
• 申請（專利權）人: 青島事百嘉電子科技有限公司
• 主分類號: C23C16/40
• 分類號: C23C16/40;C23C16/513;C23C16/56
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

技術領域

本發明提供了一種薄膜太陽能電池窗口材料SnO₂的制備方法，特別是一種薄膜太陽能電池窗口材料的PECVD制備方法。

背景技術

SnO₂薄膜成為近年來薄膜太陽能電池窗口材料的研究熱點之一。隨著物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)的方法在薄膜制備中的廣泛應用，人們開始嘗試用PVD和CVD的方法制備SnO₂，并且由此發展了許多制備SnO₂的技術。但PVD和CVD方法存在設備昂貴，沉積速度較低，對設備要求高等缺點。

為了克服上述問題，本發明采用PECVD方法制備SnO₂。PECVD法可以在較高氣壓下制備薄膜，電子的平均能量大約達到1~10eV，不需要高真空度，這就簡化了對設備的要求。此外，利用PECVD法制備的SnO₂薄膜平整度和附著性都較高、可見光透過率較高和方塊電阻較低等優點。

發明內容

本發明的目的就是針對現有技術存在的缺陷，提供一種薄膜太陽能電池窗口材料SnO₂的制備方法。

其技術方案是：用稱取適量SnCl₂放在反應槽里，和洗凈的襯底一起放在樣品臺上，打開機械泵抽氣，抽一定時間后通適量氬氣。當真空計顯示為200Pa時，在進氣端由流量計控制分壓，將反應氣體氧氣和載氣氬氣的混合氣體通入真空室內。調節氣體的流量使真空室內的壓強保持一個動態平衡。然后打開加熱系統加熱使SnCl₂升華，加熱到一定溫度后，關閉加熱系統，打開電源開關進行放電。所述的一種薄膜太陽能電池窗口材料SnO₂的制備方法，其特征是：待薄膜冷卻后對其進行適當的退火處理。

本發明的特點是可以在較高氣壓下制備薄膜，電子的平均能量大約達到1~10eV，不需要高真空度，這就簡化了對設備的要求。此外，利用PECVD法制備的SnO₂薄膜平整度和附著性都較高、可見光透過率較高和方塊電阻較低等優點。

具體實施方式

用天平稱取適量的SnCl₂放在反應槽里，和洗凈的襯底一起同時放在樣品臺上，然后打開機械泵開始抽氣，抽一定的時間后通適量的氬氣，這樣做的目的是將真空室的空氣排走。當真空計顯示為200Pa時，在進氣端由流量計控制分壓，將反應氣體氧氣和載氣氬氣的混合氣體通入真空室內。調節氣體的流量使真空室內的壓強保持一個動態的平衡。然后打開加熱系統加熱使SnCl₂升華，加熱到一定溫度之后，關閉加熱系統，打開電源開關進行放電。待薄膜冷卻后對其進行適當的退火處理，最后對所制得的薄膜進行相關的測試與分析。

另外，本發明創造不意味著說明書所局限，在沒有脫離設計宗旨的前提下可以有所變化。