[發明專利]機床窗部的氣密狀態檢測方法及氣密狀態檢測裝置有效
| 申請號: | 201310629681.3 | 申請日: | 2013-11-29 |
| 公開(公告)號: | CN103846726B | 公開(公告)日: | 2017-06-23 |
| 發明(設計)人: | 大野勝彥;佐藤則夫;西村公行 | 申請(專利權)人: | 株式會社森精機制作所 |
| 主分類號: | B23Q11/00 | 分類號: | B23Q11/00;G01M3/26 |
| 代理公司: | 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司11139 | 代理人: | 孫皓晨 |
| 地址: | 日本奈良縣大*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 機床 氣密 狀態 檢測 方法 裝置 | ||
1.一種機床窗部的氣密狀態檢測方法,是在包括具有窗部的蓋體在內的機床中,對由隔開一定的間隔而呈氣密狀接合的兩塊透明或半透明的窗板構成的所述窗部的氣密狀態進行檢測的方法,其特征在于:
將所述窗板間的空間內設為加壓或減壓狀態,對所述空間內的壓力進行檢測,
以所述檢測出的壓力為基礎,判別所述空間內的氣密狀態是否恰當;
隨時或定期對所述空間內的壓力進行檢測,當檢測出的壓力達到預先設定的允許范圍外的壓力時,判斷為所述氣密狀態不恰當;而且,
當檢測出所述空間內的壓力成為被設定為比所述允許范圍的上限或下限更靠內側的規定范圍的壓力修正范圍內的壓力達到規定時間或規定次數時,對所述空間內進行加壓或減壓,將所述空間內的壓力設為處于所述允許范圍內、且處于所述壓力修正范圍外的規定壓力。
2.一種機床窗部的氣密狀態檢測裝置,是在包括具有窗部的蓋體在內的機床中,對由隔開一定的間隔而呈氣密狀接合的兩塊透明或半透明的窗板構成的所述窗部的氣密狀態進行檢測的裝置,其特征在于,設有如下構件而構成:
壓力傳感器,對所述窗板間的空間內的壓力進行檢測;
判別部,以由所述壓力傳感器檢測出的壓力值為基礎,判別所述空間內的氣密狀態是否恰當,并將該判別結果輸出至外部;以及
壓力調整機構,對所述空間內進行加壓或減壓;且
所述判別部隨時或定期地被輸入憑借所述壓力傳感器所檢測出的前述空間內的壓力值,當被輸入的壓力值達到預先設定的允許范圍外的值時,判斷為所述氣密狀態不恰當;
進而,當所述判別部判別所述壓力傳感器檢測出的壓力值成為被設定為比所述允許范圍的上限或下限更靠內側的規定范圍的壓力修正范圍內的值達到規定時間或規定次數時,驅動所述壓力調整機構對所述空間內進行加壓或減壓,將所述空間內的壓力設為處于所述允許范圍內、且處于所述壓力修正范圍外的規定壓力。
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