[發(fā)明專利]平面TEM樣品的制作方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310625289.1 | 申請日： | 2013-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN103645074A | 公開（公告）日： | 2014-03-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳強;史燕萍 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陸花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 平面 tem 樣品 制作方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種平面TEM樣品的制作方法，其特征在于，包括：
提供TEM樣品，所述TEM樣品上具有目標區(qū)域；
對所述TEM樣品進行平面研磨至金屬互連層；
對所述TEM樣品進行截面研磨至TEM樣品的邊緣距離目標區(qū)域2-10微米；
采用第一溶液去除金屬互連層中的金屬線，在所述金屬互連層從中形成孔洞；
采用第二溶液去除所述孔洞下方的源漏摻雜區(qū)域；
使用FIB方法對所述TEM樣品進行制作，形成平面TEM樣品，所述平面TEM樣品露出孔洞下方的源漏摻雜區(qū)域用于失效分析。
2.如權(quán)利要求1所述的平面TEM樣品的制作方法，其特征在于，所述金屬線的材質(zhì)為W、Ti、TiN中的一種或者其中的組合，所述第一溶液為氨水和雙氧水的混合溶液。
3.如權(quán)利要求1所述的平面TEM樣品的制作方法，其特征在于，所述第二溶液為硝酸、醋酸和氫氟酸的混合溶液。
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