[發明專利]用于微機電系統（MEMS）設備的彈簧

在審

• 申請號: 201310624947.5
• 申請日: 2013-11-28
• 公開（公告）號: CN103852073A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 林毅楨;簡·梅納;米夏埃爾·瑙曼
• 申請（專利權）人: 飛思卡爾半導體公司
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 李寶泉;周亞榮

1.一種微機電系統（MEMS）設備，包括：

具有表面的襯底;

被配置為在基本平行于所述表面的平面中經受振蕩運動的驅動質量塊；以及

驅動彈簧，每一個所述驅動彈簧包括第一橫梁和耦合于所述第一橫梁的一端的第二橫梁，所述第二橫梁被錨定到所述驅動質量塊和所述襯底中的一個，所述第一橫梁展示基本平行于所述平面的第一寬度，以及所述第二橫梁展示基本平行于所述平面的第二寬度，所述第二寬度小于所述第一寬度。

2.根據權利要求1所述的MEMS設備，其中所述第一橫梁的第一縱向維度定向為近似垂直于所述第二橫梁的第二縱向維度。

3.根據權利要求1所述的MEMS設備，其中所述第一橫梁的所述一端相對于所述第二橫梁的縱向維度耦合于所述第二橫梁的中點。

4.根據權利要求1所述的MEMS設備，其中所述第二橫梁與所述第一橫梁的交點形成樞轉點，以及所述第二橫梁彎曲，以使響應于所述振蕩運動，所述第一橫梁在所述平面中能夠圍繞所述樞轉點進行樞轉運動。

5.根據權利要求4所述的MEMS設備，其中所述第二橫梁包括：

第一彎曲元件，所述第一彎曲元件響應于所述振蕩運動在第一方向上彎曲；以及

第二彎曲元件，所述第一橫梁的所述一端被插入在所述第一和第二彎曲元件之間，所述第二彎曲元件在與所述第一方向相反的第二方向上彎曲，所述第一和第二彎曲元件響應于所述振蕩運動而彎曲。

6.根據權利要求1所述的MEMS設備，其中所述一端是第一端，以及所述驅動彈簧的所述每一個還包括耦合于所述第一橫梁的第二端的第三橫梁，所述第三橫梁展示基本平行于所述平面并且小于所述第一寬度的第三寬度。

7.根據權利要求6所述的MEMS設備，還包括懸掛質量塊，所述第三橫梁被錨定到所述懸掛質量塊。

8.根據權利要求6所述的MEMS設備，其中所述第三寬度近似等于所述第二寬度。

9.根據權利要求6所述的MEMS設備，其中所述第三橫梁定向為近似平行于所述第二橫梁。

10.根據權利要求6所述的MEMS設備，其中所述第二橫梁的第二縱向維度近似等于所述第三橫梁的第三縱向維度。

11.根據權利要求1所述的MEMS設備，其中所述驅動質量塊被配置為在基本平行于所述襯底的所述表面的線性驅動方向上經受所述振蕩運動，以及所述第一橫梁的縱向維度定向為近似平行于所述驅動方向。

12.根據權利要求11所述的MEMS設備，其中所述縱向維度是第一縱向維度，以及所述第二橫梁的第二縱向維度定向為近似平行于所述線性驅動方向。

13.根據權利要求1所述的MEMS設備，其中所述驅動質量塊被配置為圍繞基本垂直于所述襯底的所述表面的驅動軸經受所述振蕩運動，以及所述第一橫梁的縱向維度相對于所述驅動軸被放射狀地定向。

14.根據權利要求13所述的MEMS設備，其中所述縱向維度是第一縱向維度，以及所述第二橫梁的第二縱向維度相對于所述驅動軸被近似切線地定向。

15.一種微機電系統（MEMS）設備，包括：

具有表面的襯底;

被配置為在基本平行于所述表面的平面中經受振蕩運動的驅動質量塊；

懸掛質量塊；以及

將所述懸掛質量塊與所述驅動質量塊連接起來的驅動彈簧，每一個所述驅動彈簧包括第一橫梁和耦合于所述第一橫梁的一端的第二橫梁，所述第二橫梁被錨定到所述驅動質量塊和所述懸掛質量塊中的一個，所述第一橫梁展示基本平行于所述平面的第一寬度，以及所述第二橫梁展示基本平行于所述平面的第二寬度，所述第二寬度小于所述第一寬度，其中所述第二橫梁與所述第一橫梁的交點形成樞轉點，以及所述第二橫梁彎曲，以使響應于所述振蕩運動，所述第一橫梁在所述平面中能夠圍繞所述樞轉點進行樞轉運動。

16.根據權利要求15所述的MEMS設備，其中所述一端是第一端，以及所述驅動彈簧的所述每一個還包括耦合于所述第一橫梁的第二端的第三橫梁，所述第三橫梁被錨定到所述驅動質量塊和所述懸掛質量塊中的另一個，所述第三橫梁展示基本平行于所述平面并且小于所述第一寬度的第三寬度。