[發明專利]一種用于蜂窩陣列式長細通孔的光學檢測方法與系統

無效

• 申請號: 201310618108.2
• 申請日: 2013-11-26
• 公開（公告）號: CN103674976A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 趙宏;李進軍;蔣克儉
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G06T5/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 蔡和平

1.一種用于蜂窩陣列式長細通孔的光學檢測系統，其特征在于，包括線性面光源（1），光學成像玻璃（3），聚光透鏡（4），以及攝像機（5）；其中，被測工件（2）放置于線性面光源（1）和光學成像玻璃（3）之間，線性面光源（1）發出的平面光經被測工件（2）上的陣列式通孔在光學成像玻璃（3）上投影成像，攝像機（5）通過聚光透鏡（4）采集光學成像玻璃上的正投影像，然后進行通孔圖像處理與識別。

2.根據權利要求1所述的一種用于蜂窩陣列式長細通孔的光學檢測系統，其特征在于，所述線性面光源（1）是單色光冷光源，光源大小由工件尺寸確定。

3.根據權利要求1所述的一種用于蜂窩陣列式長細通孔的光學檢測系統，其特征在于，在被測工件（2）的微細通孔陣列（6）中，通孔（7）是方形或圓形。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的一種用于蜂窩陣列式長細通孔的光學檢測系統，其特征在于，所述光學成像玻璃所在平面與平面光光線方向呈45°或90°夾角。

5.根據權利要求4所述的一種用于蜂窩陣列式長細通孔的光學檢測系統，其特征在于，當光學成像玻璃所在平面與平面光光線方向呈45°時，所述光學成像玻璃為毛玻璃，當光學成像玻璃所在平面與平面光光線方向呈90°時，所述光學成像玻璃為半反半透玻璃。

6.一種基于權利要求1所述的光學檢測系統的檢測方法，其特征在于，線性面光源（1）發出強度均勻的平面光，平面光經過被測工件（2）上的陣列式通孔在光學成像玻璃（3）上投影成像，攝像機（5）通過聚光透鏡（4）采集光學成像玻璃（3）上的正投影像，然后進行通孔圖像處理與識別，判斷微細孔的通斷情況。

7.根據權利要求6所述的檢測方法，其特征在于：通孔圖像處理與識別的方法為：首先采用自適應濾波技術和膨脹閉運算方法消除圖像背景，其次采用自適應二值化方法對去背景后的圖像進行黑白二值化處理，最后提取白色目標區域，并計算區域大小，做好識別標記。

8.根據權利要求6所述的檢測方法，其特征在于：微細孔通斷情況的判別方法為：對提取的白色目標區域，計算原始圖像中該區域像素與標準模板像素的相關系數，當相關系數大于閾值時，該微細孔為通孔，否則，該微細孔不通。