[發(fā)明專利]用于顯微鏡檢驗的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310614665.7
• 申請日: 2013-11-28
• 公開（公告）號: CN103852457A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: R.特萊歇爾;P.克恩
• 申請（專利權(quán)）人: 阿斯特里姆有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G02B21/36
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 汲長志;楊國治

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于顯微鏡檢驗的裝置，所述裝置具有圖像輸出單元、至少兩個在空間上分布地布置的具有不同的試樣容納區(qū)域的圖像輸入單元、至少一個存放有至少一個試樣尤其是至少一個生物的試樣的樣本載體單元以及耦合單元，所述耦合單元將所述圖像輸出單元與所述至少兩個圖像輸入單元其中之一在光學(xué)上耦合成顯微鏡單元。?

背景技術(shù)

常見的顯微鏡、尤其是光學(xué)顯微鏡具有用于產(chǎn)生放大的圖像的圖像產(chǎn)生單元（Bilderzeugungseinheit），所述圖像產(chǎn)生單元包括布置在顯微鏡筒中的物鏡元件尤其物鏡透鏡以及目鏡元件尤其目鏡透鏡。所述顯微鏡的顯微鏡筒沿著所定義的方向具有較大的空間位置需求，由此難以在狹小的環(huán)境中安裝顯微鏡。此外，比如在處于太空中的載人飛船、空間站或者衛(wèi)星的邊緣上將顯微鏡用在安放在離心機上的試樣上時，需要將整個顯微鏡連同所述顯微鏡筒設(shè)立在離心機上面，由此由于所述離心機的旋轉(zhuǎn)而出現(xiàn)所述顯微鏡的各個構(gòu)件的較高的負荷并且由于通過顯微鏡構(gòu)件的運動引起的不平衡性而可能干擾試驗。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的任務(wù)尤其是，提供一種所述類型的用于顯微鏡檢驗的裝置，該裝置也能夠在狹小的環(huán)境中很好地使用。該任務(wù)按照本發(fā)明通過一種具有權(quán)利要求1所述特征的裝置得到解決，而本發(fā)明的有利的設(shè)計方案和改進方案則可以從從屬權(quán)利要求中獲知。?

本發(fā)明涉及一種用于顯微鏡檢驗的裝置，所述裝置具有圖像輸出單元、至少兩個在空間上分布地布置的具有不同的試樣容納區(qū)域的圖像輸入單元、至少一個存放有至少一個試樣尤其至少一個生物的試樣的樣本載體單元以及耦合單元，所述耦合單元將所述圖像輸出單元與所述至少兩個圖像輸入單元其中之一在光學(xué)上耦合成顯微鏡單元。?

“顯微鏡單元”尤其應(yīng)該是指一種單元，設(shè)置該單元以便產(chǎn)生樣本的放大的圖像。優(yōu)選所述顯微鏡借助于光束來產(chǎn)生樣本的放大的圖像，其中所述光束可以純粹被動地被所述樣本所接收或者可以主動地由所述顯微鏡產(chǎn)生。尤其所述顯微鏡單元具有作為透鏡起作用的用于產(chǎn)生放大的圖像的結(jié)構(gòu)元件。原則上，所述顯微鏡單元也可以借助于粒子束流比如電子束或者離子束來產(chǎn)生樣本的放大的圖像。“圖像輸入單元”尤其應(yīng)該是指一種單元，該單元朝向所述樣本并且容納所述樣本的圖像，該圖像為了放大和觀察而通過圖像傳輸路徑來傳輸給所述圖像輸出單元。優(yōu)選所述圖像輸入單元具有至少一個物鏡透鏡或者一個作為物鏡透鏡起作用的用于使粒子束流聚焦的磁場產(chǎn)生元件，借助于所述磁場產(chǎn)生元件來容納樣本的圖像。“圖像傳輸路徑”尤其應(yīng)該是指兩個單元之間的光學(xué)的線路，其中在所述圖像傳輸路徑上可以布置用于影響光路的元件，比如轉(zhuǎn)向元件。所述圖像傳輸路徑可以構(gòu)造為筆直的路徑或者也可以借助于轉(zhuǎn)向元件構(gòu)造為非筆直的路徑。所述圖像輸入單元“具有不同的試樣容納區(qū)域”這一點尤其應(yīng)該是指，所述圖像輸入單元在相同的時刻對準(zhǔn)不同的試樣，并且通過圖像輸出單元與不同的圖像輸入單元之間的光學(xué)的耦合交替地對不同的試樣進行觀察。尤其至少兩個具有不同的試樣容納區(qū)域的圖像輸入單元不同于構(gòu)造為標(biāo)準(zhǔn)-樣本物鏡旋座單元的圖像輸入單元，在所述構(gòu)造為標(biāo)準(zhǔn)-樣本物鏡旋座單元的圖像輸入單元中可以通過旋轉(zhuǎn)來選擇不同的物鏡透鏡。“試樣容納區(qū)域”尤其應(yīng)該是指一種區(qū)域，在該區(qū)域中可以觀察試樣，其中所述試樣容納區(qū)域通過所述圖像輸入單元的張角以及所述圖像輸入單元的回轉(zhuǎn)范圍和/或運動范圍來產(chǎn)生。?