[發明專利]一種自動探針臺配方管理方法

在審

• 申請號: 201310613136.5
• 申請日: 2013-11-26
• 公開（公告）號: CN103823669A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 周波;莫保章
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F9/44
• 分類號: G06F9/44;G01R1/067
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本發明涉及一種WAT測試技術領域，尤其涉及一種自動探針臺配方管理方法。

背景技術

自動探針臺的配方主要完成探針卡的對位，wafer的對位等功能；現有WAT測試的自動探針臺的配方都存放在自動探針臺本機上，當由于wafer本身問題或其它一些特殊外部因素引起問題時需要工程師去調試配方或更改配方的某些設置后繼續進行測試，一次測試需要幾個小時甚至幾天的時間，因此工程師常常會忘掉刪除為特殊情況下而調試的配方導致正常lot測試時再次出現問題；有些配方的設置（例如扎針深度，清針頻率等）并不能在接下來的測試中立刻反映出來，往往等上很長一段時間以后才發現某臺自動探針臺的配方設置跟其它機臺不一致；目前在某一臺自動探針臺上建立完配方還需手動傳送到其它自動探針臺，在其它機臺正在測貨時是不能傳送的，往往需要等很長時間才能完成全部機臺的傳送。

專利（公開號：CN201616426）公開了一種探針臺，包括：探針卡；載晶盤，用于承載晶片上下方向抬升機構，用于承載所述載晶盤，并使所述載晶盤在上下方向移動軌道，用于承載所述上下方向抬升機構和所述載晶盤，并使所述上下方向抬升機構和所述載晶盤在水平方向或豎直方向移動，還包括排風扇，所述排風扇安裝于所述軌道的活動區域之外。該專利提供的探針臺在工作過程中，通過運轉的排風扇將潤滑油蒸汽吹散，使其無法在空中因遇冷重新凝結為潤滑油滴，避免了重新凝結的潤滑油滴掉落在載晶盤所承載的晶片上，提高了探針卡對晶片進行性能測試的準確性，可使晶片的良率提高1%至2%。

專利（公開號：CN201637795）公開了一種探針臺測試系統，包括探針臺和測試機，所述探針臺與測試機連接，向測試機發送測試數據或接收測試機的反饋數據，還包括探針臺測試顯示裝置，所述探針臺測試顯示裝置與探針臺及測試機相連接，獲取并對所述測試數據和反饋數據進行處理，實時生成并顯示測試分布文件。還涉及一種探針臺測試顯示裝置。本實用新型能夠實時顯示測試結果，便于測試員在測試過程中及時發現并處理問題，而不必等待整個產品測試結束后再處理。改善了生產管理、提高了生產效率。并且不需要更換現有的探針臺設備，節省了成本、避免了浪費。

發明內容

有鑒于此，本發明提出一種自動探針臺配方管理方法，以解決上述調試時間長，在其它機臺正在測貨是不能傳送的問題。

為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的：

一種自動探針臺配方管理方法，包括服務器，若干探針臺，若干自動測試儀，其中，將某一臺自動測試儀的主機作為所有自動探針臺的服務器，所有自動探針臺的配方集中在該服務器上進行管理，所述方法的步驟為：

步驟一：自動測試儀向探針臺發送需要下載的探針臺配方指令；

步驟二：探針臺自動從服務器上下載該配方指令；

步驟三：如果探針臺已有該配方指令，則服務器上的指令替換掉該探針臺上已有的配方指令，探針臺反饋給自動測試儀，自動測試儀進行測試；

步驟四：如果服務器上沒有該配方指令，則下載失敗，探針臺反饋給自動測試儀，自動測試儀暫停測試。

上述自動探針臺配方管理方法，其中，所述探針臺內具有接受自動測試儀指令的模塊。

上述自動探針臺配方管理方法，其中，所述探針臺可自動上傳配方至服務器。

上述自動探針臺配方管理方法，其中，其余探針臺可通過服務器共享配方。

本發明由于采用了上述技術，產生的積極效果是：

通過本發明的使用，可保證每臺自動探針臺使用的同一個配方的設置完全一致；也可達到在某一臺自動探針臺上建立完配方上傳至服務器后不用去手動傳送到其它自動探針臺，減少工作量的目的。

附圖說明

構成本發明的一部分的附圖用來提供對本發明的進一步理解，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。在附圖中：

圖1為本發明的一種自動探針臺配方管理方法的步驟圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明，但不作為本發明的限定。

實施例：

請結合圖1所示，一種自動探針臺配方管理方法，包括服務器，若干探針臺，若干自動測試儀，其特征在于，將某一臺自動測試儀的主機作為所有自動探針臺的服務器，所有自動探針臺的配方集中在該服務器上進行管理，方法的步驟為：

步驟一：自動測試儀向探針臺發送需要下載的探針臺配方指令；

步驟二：探針臺自動從服務器上下載該配方指令；