[發明專利]加速度傳感器

有效

• 申請號: 201310613108.3
• 申請日: 2013-11-27
• 公開（公告）號: CN103837705A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 鈴木利尚
• 申請（專利權）人: 雅馬哈株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 賀紫秋

1.一種加速度傳感器，包括:

基板;

錘部，其可動地設置為與基板分開;和

靜電電容器，配備有固定電極和可動電極，靜電電容器的靜電電容根據每一個固定電極和每一個可動電極之間的沿檢測方向的距離而變化，所述距離根據沿檢測方向起作用的加速度而變化，所述檢測方向與基板平坦表面方向平行，

其中根據與固定電極和可動電極之間的距離變化相關聯的靜電電容器的電容變化，加速度傳感器檢測沿檢測方向起作用的加速度，所述檢測方向與基板的平坦表面方向平行，和

其中，在基板的平面視圖中，靜電電容器設置在被錘部的周邊所圍繞的區域的中心，從而每一個固定電極和每一個可動電極沿檢測方向交替設置成一列。

2.如權利要求1所述的加速度傳感器，

在基板的平面視圖中，靜電電容器的中心與被錘部周邊圍繞的區域的中心重合。

3.如權利要求1所述的加速度傳感器，

被錘部的周邊圍繞的區域的中心是錘部的重心。

4.如權利要求1所述的加速度傳感器，

其中一組固定電極包括:

第一固定電極和第二固定電極，它們設置為在鄰近的兩個可動電極之間的區域中彼此鄰接;

第一連接件，其連接第一固定電極和基板;和

第二連接件，其連接第二固定電極和基板，

其中第一連接件構造為朝向毗鄰第一固定電極的第二固定電極加寬，從而第一固定電極以直線的狀態面對可動電極，和

其中第二連接件配置為朝向毗鄰第二固定電極的第一固定電極加寬，從而第二固定電極以直線的狀態面對可動電極。

5.如權利要求1所述的加速度傳感器，

其中每一個固定電極固定到基板且形成為板，所述板的表面垂直于基板的平坦表面方向和檢測方向，和

其中每一個可動電極配置為從錘部延伸且形成為板，所述板的表面平行地面對每一個固定電極。

6.如權利要求1所述的加速度傳感器，

其中每一個固定電極包括一組第一固定電極和第二固定電極，它們設置為在鄰近的兩個可動電極之間的區域中彼此鄰接，和

其中，在錘部運動時，第一固定電極和毗鄰第一固定電極的可動電極的電容變化以及第二固定電極和毗鄰第二固定電極的可動電極的電容變化沿彼此相反的方向。

7.如權利要求1所述的加速度傳感器，

其中每一個可動電極配置為從錘部延伸且配備有要被連接到錘部的至少兩個固定部分。

8.如權利要求7所述的加速度傳感器，

其中固定部分設置在每一個可動電極的兩端部。

9.如權利要求8所述的加速度傳感器，

其中每一個可動電極形成為板，所述板的表面垂直于基板的平坦表面方向和檢測方向，和

其中固定部分設置在每一個可動電極的板的兩端部處。

10.如權利要求1所述的加速度傳感器，進一步包括:

框架，圍繞錘部;和

凸面止動部，其每一個配置為朝向檢測方向突出，其中在加速度起作用時錘部運動，凸面止動部形成在錘部或框架上，

其中，在限定了矩形框架時，其中在基板的平面視圖中所述矩形框架圍繞作為一個整體的固定電極且包括四個邊，其中的兩個邊與檢測方向平行而另兩個邊垂直于檢測方向，參考矩形框架的四個頂點，通過每一條都經過沿垂直于檢測方向的方向定位的兩個頂點的兩條第一線和每一條都經過沿檢測方向定位的兩個頂點的兩條第二線而將基板分成九個區域，和

其中，在占據了被分成九個區域的四個角部的四個區域每一個處，錘部上的凸面止動部配置為接合框架或框架上的凸面止動器配置為接合錘部，所述四個區域并不是含有固定電極的區域也不是毗鄰含有固定電極的區域的區域。

11.如權利要求10所述的加速度傳感器，

其中每一個固定電極形成為板，所述板的表面垂直于基板的平坦表面方向和檢測方向，且固定電極沿檢測方向設置，和

其中矩形框架是作為一個整體的固定電極的周邊。

12.如權利要求10所述的加速度傳感器，

其中限制器在所述四個區域處固定到基板，從而限制器相對于錘部的重心對稱定位。