[發明專利]一種探針卡

在審

• 申請號: 201310613092.6
• 申請日: 2013-11-26
• 公開（公告）號: CN103823089A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 許一峰;莫保章
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本發明涉及一種微電子電性能測試領域，尤其涉及一種探針卡。

背景技術

在日常的晶圓電性測試中會用到探針卡，而每次進行測試前，測量儀器會先確認探針卡的基本信息，這些信息均儲存在探針卡識別芯片內，讀卡器通過無線信號對識別芯片進行讀寫操作，但這樣的設計存在安全隱患，若識別芯片安裝的位置稍有偏離，就會影響到測試頭與探針卡之間的針腳連接，會影響識別芯片的正常讀寫能力，無線信號傳輸還會受到信號干擾，這也會對探針卡信息讀寫的影響。

專利（公開號：CN101191801A）公開了一種探針卡，其包括基底、凸塊、探針以及結合部件。所述凸塊形成在上述基底上。所述探針包括支撐梁以及從所述支撐梁的第一端凸出的尖端。所述結合部件將所述凸塊電連接至所述探針。所述結合部件包括第一結合部分以及包圍所述第一結合部分外表面的第二結合部分。因而，探針卡的探針可牢固的固定以使得探針卡可具有改進的結構穩定性。

專利（公開號：CN101971037A）公開了一種探針卡，所述探針卡即使在老化測試中暴露與高溫后，也具有在測試用電極和被測試電極之間的連接的良好穩定性，并且即使在重復使用探針卡后，也對于在測試用電極和導電部之間或在導電部和探針或被測試電極之間的接觸位置的便宜較不敏感。探針卡包括測試用電路板和各向異性導電構件的探針卡，測試用電路板具有形成的測試用電極以對應于被測試電極，各向異性導電構件電連接被測試電極與測試用電極。使測試用電極形成為使得至少該測試用電極的端部從測試用電路板的表面突出，并且各向異性導電構件是具有絕緣基底和多個由導電材料制成的導電通路的構件，絕緣基底由其中具有微孔的陽極氧化鋁膜制成，多個導電通路彼此絕緣，并且在絕緣基底的厚度方向延伸貫穿絕緣基底。

發明內容

有鑒于此，本發明提出一種探針卡，以解決上述識別芯片安裝的位置稍有偏離，影響識別芯片的正常讀寫能力和受到信號干擾的問題。

為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的：

一種探針卡，所述探針卡包括基板，于所述基板的表面設置有若干探針，其中，所述基板的表面還設置有金屬觸點；

于所述探針卡的內部還設置有識別芯片，該識別芯片與所述金屬觸點電連接。

上述一種探針卡，其中，所述探針卡還包括一電路板，所述識別芯片設置于所述基板與所述電路板之間的區域中。

上述一種探針卡，其中，所述金屬觸點的個數為兩個，且每個所述金屬觸點均為環狀的觸點。

上述一種探針卡，其中，所述識別芯片的形狀為扁平的長方形。

上述一種探針卡，其中，所述識別芯片安裝于探針卡的十二點方向。

一種讀寫裝置，所述讀寫裝置用于讀取上述任意一項所述探針卡上設置的識別芯片，其中，所述讀寫裝置對應所述金屬觸點位置設置有彈性觸針，所述讀寫裝置通過所述彈性觸針與所述識別芯片電連接。

本發明由于采用了上述技術，產生的積極效果是：

通過本發明的使用，采用讀寫裝置與探針卡識別芯片用彈力針腳接觸式相連的方式代替以往的無線信號傳世的方式，將識別芯片直接制作或鑲嵌在探針卡內部，這樣可以避免由于識別芯片安裝偏離導致的測試頭與探針卡之間的針腳連接異常，同時新的接觸式設計排除信號干擾對探針卡信息讀寫的影響，用接觸式連接還可以省去每次探針卡識別芯片從探針卡表面脫落后需要再次用膠將其粘回探針卡表面的繁瑣動作。

附圖說明

構成本發明的一部分的附圖用來提供對本發明的進一步理解，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。在

附圖中：

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為本發明識別芯片安裝位置示意圖；

圖3為本發明的側視圖；

圖4為本發明識別芯片和環形觸點連接方式示意圖；

圖5為圖4的側視圖；

圖6為本發明讀寫裝置和環形觸點接觸方式示意圖。

1?探針卡

2?識別芯片

3?導線

4?金屬觸點

5?讀寫裝置

6?彈性觸針

7?底板

8?電路板

9?基板

10?探針

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明，但不作為本發明的限定。

實施例：

請結合圖1-6所示,一種探針卡，探針卡1包括基板9，于基板9的表面設置有若干探針10，其特征在于，基板9的表面還設置有金屬觸點4；