[發(fā)明專利]具有周期性結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄膜的瑕疵檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310612596.6
• 申請(qǐng)日: 2013-11-26
• 公開（公告）號(hào): CN103630547A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱錦勛;游莉敏;陳威仰;高志遠(yuǎn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 明基材料有限公司;明基材料股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于檢測(cè)具有周期性結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄膜的瑕疵檢測(cè)方法，其特征在于該瑕疵檢測(cè)方法包括以下步驟：

(A)于具有周期性結(jié)構(gòu)的待檢測(cè)光學(xué)薄膜上擷取原始影像，該原始影像具有m個(gè)周期的周期性結(jié)構(gòu)，其中m為正數(shù)；

(B)從該原始影像中擷取子影像，該子影像具有n個(gè)周期的周期性結(jié)構(gòu)，其中n為正數(shù)，且n<m；

(C)從該原始影像中擷取比對(duì)影像，該比對(duì)影像具有n組重復(fù)排列的結(jié)構(gòu)，其中n為正數(shù)，n<m，該比對(duì)影像的擷取位置與該子影像的擷取位置不同，但該比對(duì)影像的面積與該子影像的面積相同；

(D)將該子影像與該比對(duì)影像進(jìn)行影像處理以得到處理影像；

(E)計(jì)算該處理影像的平均灰階值；以及

(F)分析該平均灰階值以判斷該子影像所對(duì)應(yīng)的光學(xué)薄膜是否具有瑕疵。

2.如權(quán)利要求1所述的瑕疵檢測(cè)方法，其特征在于該影像處理包含影像相減及/或影像濾除。

3.如權(quán)利要求2所述的瑕疵檢測(cè)方法，其特征在于該子影像與該比對(duì)影像相減以得到第一處理影像，若該第一處理影像具有該比對(duì)影像所具有的瑕疵，則進(jìn)行影像濾除，以濾除掉該瑕疵。

4.如權(quán)利要求1所述的瑕疵檢測(cè)方法，其特征在于當(dāng)該處理影像的平均灰階值不為0時(shí)，則表示該子影像所對(duì)應(yīng)的光學(xué)薄膜具有瑕疵。

5.如權(quán)利要求1所述的瑕疵檢測(cè)方法，其特征在于該具有周期性結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄膜為相位延遲膜或?qū)Ч獍濉?/p>

6.如權(quán)利要求1所述的瑕疵檢測(cè)方法，其特征在于該周期性結(jié)構(gòu)包含至少兩種紋理結(jié)構(gòu)，且該至少兩種紋理結(jié)構(gòu)相互平行且重復(fù)排列。

7.一種用于檢測(cè)具有周期性結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄膜的瑕疵檢測(cè)裝置，其特征在于該瑕疵檢測(cè)裝置包括：

光學(xué)攝像單元，用以于待檢測(cè)的光學(xué)薄膜上擷取原始影像，并從該原始影像擷取子影像及比對(duì)影像；

影像處理單元，耦接于該光學(xué)攝像單元，該影像處理單元用以將該子影像與該比對(duì)影像進(jìn)行影像處理以得到處理影像；

灰階值計(jì)算單元，耦接于該影像處理單元，該灰階值計(jì)算單元用以計(jì)算該處理影像的平均灰階值；以及

分析單元，耦接于該灰階值計(jì)算單元，該分析單元分析該平均灰階值以判斷該子影像所對(duì)應(yīng)的該光學(xué)薄膜是否具有瑕疵。

8.如權(quán)利要求7所述的瑕疵檢測(cè)裝置，其特征在于該影像處理單元還包括影像相減單元及/或影像濾除單元。

9.如權(quán)利要求7所述的瑕疵檢測(cè)裝置，其特征在于該具有周期性結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄膜為相位延遲膜或?qū)Ч獍濉?/p>

10.如權(quán)利要求7所述的瑕疵檢測(cè)裝置，其特征在于該周期性結(jié)構(gòu)包含至少兩種紋理結(jié)構(gòu)，且該至少兩種紋理結(jié)構(gòu)相互平行且重復(fù)排列。