[發明專利]一種解理的方法無效

申請號：	201310611600.7	申請日：	2013-11-28
公開（公告）號：	CN103646990A	公開（公告）日：	2014-03-19
發明（設計）人：	王秀珍	申請（專利權）人：	青島藍圖文化傳播有限公司市南分公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18
代理公司：	北京中濟緯天專利代理有限公司 11429	代理人：	馬娟娟
地址：	266000 山東省青***	國省代碼：	山東;37
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種解理方法
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【權利要求書】：

1.一種解理方法，采用氣動的吸力迫使芯片沿晶向自然解理，為實現吸力，將常規解理機臺的樣品支持件換成具有氣動的裝置，樣品支持件設計成一長條塊，內部挖空成一封閉腔室，腔室側面打孔連出真空管，上表面由兩個面組成，左表面與下表面平行，右表面與下表面夾角小于8°，在上表面上打孔，用于吸附樣品，左上表面靠近右上表面共用邊的區域預留出一定寬度區域不打孔，用于劃片時有一定平整度的樣品臺，在解理樣品時，先用劃片命令在樣品解理槽前端切出一定長度的缺口，再啟用真空裝置用吸力吸住樣品解理槽左右兩邊的區域，即施加一定強度的吸力給樣品，使得樣品在兩個吸力和一個支撐力的作用下沿缺口處裂開，形成自然解理的端面。

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