[發(fā)明專利]一種基于中點(diǎn)追蹤的圖像定位控制雙探針自動(dòng)測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310610557.2
• 申請(qǐng)日: 2013-11-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103616585A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王強(qiáng);花國(guó)然;章國(guó)安;徐影;鄧潔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南通大學(xué)
• 主分類號(hào): G01R31/00
• 分類號(hào): G01R31/00;G01R1/04;G01R1/073
• 代理公司: 南京同澤專利事務(wù)所(特殊普通合伙) 32245
• 代理人: 石敏

1.?一種基于中點(diǎn)追蹤的圖像定位控制雙探針自動(dòng)測(cè)試裝置，包括承載臺(tái)、第一探針支架、第二探針支架、主控計(jì)算機(jī)，其特征在于：還包括驅(qū)動(dòng)所述裝載有第一探針支架和第二探針支架的測(cè)試頭組件在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)所述測(cè)試頭組件在三軸方向移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、設(shè)置于承載臺(tái)上方且拍攝方向朝下的攝像頭，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的下方，所述測(cè)試頭組件具有使第一、第二探針支架水平鏡像移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一至第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制信號(hào)輸入端與主控計(jì)算機(jī)的控制信號(hào)輸出端連接，驅(qū)動(dòng)所述測(cè)試頭組件在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為細(xì)分驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)所述測(cè)試頭在三軸方向移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為三軸步進(jìn)電機(jī)，所述第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置有兩段對(duì)稱螺紋的絲桿、驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)、對(duì)稱地螺接在絲桿上的第一移動(dòng)塊、第二移動(dòng)塊，所述第一探針支架、第二探針支架分別安裝在第一移動(dòng)塊、第二移動(dòng)塊下方。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于中點(diǎn)追蹤的圖像定位控制雙探針自動(dòng)測(cè)試裝置，其特征在于：所述第一探針支架、第二探針支架上分別安裝有第一探針、第二探針，所述第一、第二探針的信號(hào)輸出端連接測(cè)試儀。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于中點(diǎn)追蹤的圖像定位控制雙探針自動(dòng)測(cè)試裝置，其特征在于：所述承載臺(tái)為具有真空抽氣口的金屬承載臺(tái)，該金屬承載臺(tái)接地，真空抽氣口經(jīng)管路連接抽真空設(shè)備。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于中點(diǎn)追蹤的圖像定位控制雙探針自動(dòng)測(cè)試裝置，其特征在于：還具有殼體，所述承載臺(tái)、第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第一探針支架、第二探針支架、及攝像頭均設(shè)置于殼體內(nèi)。

5.?基于中點(diǎn)追蹤的圖像定位控制雙探針自動(dòng)測(cè)試裝置的樣品測(cè)試方法，具體包括如下步驟：

第一步、將樣品放置于承載臺(tái)；

第二步、樣品在真空設(shè)備抽氣后形成的負(fù)壓環(huán)境下被吸附固定在承載臺(tái)上；

第三步、攝像頭采集樣品圖像，傳送至主控計(jì)算機(jī)予以顯示，并將計(jì)算機(jī)顯示區(qū)域的像素點(diǎn)坐標(biāo)與承載臺(tái)坐標(biāo)建立對(duì)應(yīng)關(guān)系；

第四步、測(cè)試人員利用鼠標(biāo)在圖像上點(diǎn)選待測(cè)樣品上任意兩測(cè)試點(diǎn)；

第五步、獲取兩測(cè)試點(diǎn)連線的中點(diǎn)坐標(biāo)位置，通過(guò)三軸步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)測(cè)試頭組件移動(dòng)至兩測(cè)試點(diǎn)連線的中點(diǎn)的上方，使兩探針支架的對(duì)稱中心與兩測(cè)試點(diǎn)連線中點(diǎn)位于同一垂線上，

第六步、計(jì)算兩測(cè)試點(diǎn)之間連線與承載臺(tái)坐標(biāo)系X軸的夾角，通過(guò)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器旋轉(zhuǎn)測(cè)試頭組件相應(yīng)的角度，使與兩探針的連線與兩測(cè)試點(diǎn)連線共面；

第七步、計(jì)算兩測(cè)試點(diǎn)之間相隔像素?cái)?shù)量，并將其轉(zhuǎn)化為承載臺(tái)坐標(biāo)系下的距離值，通過(guò)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿張開(kāi)第一、第二探針支架，使探針支架上安裝的探針之間的張開(kāi)距離與兩測(cè)試點(diǎn)距離相等，從而確保兩探針?lè)謩e位于兩測(cè)試點(diǎn)正上方；

第八步、通過(guò)三軸步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)測(cè)試頭組件下壓，使探針到達(dá)測(cè)試點(diǎn)位置，完成自動(dòng)定位測(cè)試。

6.?根據(jù)權(quán)利要求5所述基于中點(diǎn)追蹤的圖像定位控制雙探針自動(dòng)測(cè)試裝置的樣品測(cè)試方法，其特征在于：所述第五步、第六步、第七步同時(shí)進(jìn)行。