[發明專利]采樣樣本和顯示獲得的信息的方法

有效

• 申請號: 201310610534.1
• 申請日: 2013-11-27
• 公開（公告）號: CN103839743B
• 公開（公告）日: 2017-03-22
• 發明（設計）人: P.波托塞克;M.P.M.比爾霍夫;T.維斯塔維;L.德賴卡克
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/28;G01N23/22;G01N23/223
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 王岳,馬永利

1.采樣樣本（202）和在顯示器（244）上顯示獲得的信息的方法，所述方法包括：

用N個重疊子幀的系列在樣本上方掃描射束（232），一次一個子幀，每個子幀包括M_n個掃描位置，每個子幀的掃描位置不與其它子幀的掃描位置重疊，由此所述射束在N×M_n個掃描位置處照射樣本，所述N×M_n個掃描位置形成視場；

使用檢測器（242），檢測響應于由所述射束對樣本的照射而從所述樣本發出的信號，針對每個掃描位置采樣所述信號；以及

在具有至少N×M_n個像素的顯示器上以這樣的方式顯示所述子幀，使得在N個掃描的系列之后，每個像素顯示從來自一個或多個掃描位置的信號得出的信息；

特征在于：

其中在對第一子幀的掃描之后，每個像素顯示從第一子幀的掃描位置得出的信息；以及

其中在對第二子幀的掃描之后，每個像素顯示在對第一子幀、第二子幀或這兩個子幀的掃描期間得出的信息。

2.根據權利要求1的方法，其中對于全部子幀，每個子幀的掃描位置和像素的數量是相同的。

3.根據前面權利要求中的任一個的方法，其中N=（k_x×k_y），其中k_x和k_y是正整數，k_x和k_y中的至少一個大于1，更具體地說N=k²，其中k是大于1的整數。

4.根據前面權利要求中的任一個的方法，其中射束（232）是來自下列各項的組的射束：紅外光、可見光或X射線，或是來自下列各項的組的粒子的射束：電子、離子、帶電團簇、帶電分子、原子或分子。

5.根據前面權利要求中的任一個的方法，其中對于N個子幀的系列中的至少一個，針對樣本（202）的漂移和/或振動和/或位移而校正所述子幀相對于一個或多個其它子幀的位置。

6.根據前面權利要求中的任一個的方法，其中在上一個獲得的子幀和至少一個更早獲得的子幀之間檢測到大于預先確定的值的位移之后，開始子幀的新序列。

7.根據前面權利要求中的任一個的方法，其中用戶能夠啟動子幀的新序列的開始，或者在樣本臺（204）移動、視場改變、或者檢測器設置改變之后開始子幀的新序列，所述樣本（202）安裝在樣本臺（204）上。

8.根據前面權利要求中的任一個的方法，其中在對第一子幀掃描之后，像素中的至少部分示出從兩個或更多掃描位置得出的信息。

9.根據前面權利要求中的任一個的方法，其中檢測器（242）檢測從樣本（202）發出的X射線光子、可見光子、次級電子或背散射電子的數量和/或能量和/或角度分布。

10.根據前面權利要求中的任一個的方法，其中每個子幀的掃描時間與每個其它子幀的掃描時間相同。