[發明專利]一種無氧無偏壓鍍制寶石藍色PVD膜的方法有效
| 申請號： | 201310608955.0 | 申請日： | 2013-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN103614695A | 公開（公告）日： | 2014-03-05 |
| 發明（設計）人： | 薛本君 | 申請（專利權）人： | 珠海承鷗衛浴用品有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 鄭瑩 |
| 地址： | 511400 廣東省珠海市斗門*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 無氧無 偏壓 寶石 藍色 pvd 方法 | ||
1.一種無氧無偏壓鍍制寶石藍色PVD膜的方法，其特征在于：包括如下步驟：
1）將基材表面擦拭干凈，裝夾到多弧離子鍍膜機的基材掛具上，并一起裝入到PVD真空爐內，抽真空；
2）生成基礎膜層：選用金屬鋯作為靶材，采用多弧離子鍍膜法，在脈沖偏壓下，通入N2和CH4在基材表面沉積ZrCN基礎膜層；
3）生成藍寶石色膜層：基材表面沉積ZrCN基礎膜層后，關掉偏壓電源，但繼續通入N2?和CH4，反應至生成寶石藍色PVD膜層，即可。
2.根據權利要求1所述的一種無氧無偏壓鍍制寶石藍色PVD膜的方法，其特征在于：所述的基材選自銅合金、鋅合金、不銹鋼和塑膠。
3.根據權利要求1所述的一種無氧無偏壓鍍制寶石藍色PVD膜的方法，其特征在于：步驟1）中所述的抽真空的壓強為4.0×10-3～6.0×10-3Pa。
4.根據權利要求1所述的一種無氧無偏壓鍍制寶石藍色PVD膜的方法，其特征在于：步驟2）中所述的脈沖偏壓為80V～100V。
5.根據權利要求1所述的一種無氧無偏壓鍍制寶石藍色PVD膜的方法，其特征在于：步驟2）和步驟3）中所述的通入N2?和CH4的流量分別為600～680sccm、40～80sccm。
6.根據權利要求1所述的一種無氧無偏壓鍍制寶石藍色PVD膜的方法，其特征在于：步驟2）中所述的通入N2?和CH4的時間為3～5min。
7.根據權利要求1所述的一種無氧無偏壓鍍制寶石藍色PVD膜的方法，其特征在于：步驟3）中所述的通入N2?和CH4的時間為5～8min。
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