[發明專利]一種連續材料表面常壓等離子體多級處理裝置無效

申請號：	201310608400.6	申請日：	2013-11-27
公開（公告）號：	CN103602962A	公開（公告）日：	2014-02-26
發明（設計）人：	沈文凱;王紅衛	申請（專利權）人：	蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司
主分類號：	C23C16/54	分類號：	C23C16/54;C23C16/513
代理公司：	蘇州華博知識產權代理有限公司 32232	代理人：	孟宏偉
地址：	215011 江蘇省蘇州市蘇州***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種連續材料表面常壓等離子體多級處理裝置
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【權利要求書】：

1.?一種連續材料表面常壓等離子體多級處理裝置，其特征在于，包括外殼、傳動裝置、沿進料方向設置的至少二個金屬電極組和與所述金屬電極組連接的電源，所述外殼下方開口，所述傳動裝置設置于所述外殼內，所述金屬電極組為一對豎直設置于所述外殼內的平板電極并且所述金屬電極組設置于所述傳動裝置之間，所述外殼壁體上開設有用于反應氣體進入外殼內的氣體入口。

2.?根據權利要求1所述的連續材料表面常壓等離子體多級處理裝置，其特征在于，所述外殼為防水外殼。

3.?根據權利要求1或2所述的連續材料表面常壓等離子體多級處理裝置，其特征在于，所述傳動裝置包括設置于所述金屬電極組上端的第一導輥和設置于所述金屬電極組下端的第二導輥，所述第一導輥與所述第二導輥沿進料方向相交叉設置。

4.根據權利要求3所述的連續材料表面常壓等離子體多級處理裝置，其特征在于，所述金屬電極組的平板電極外側設置有絕緣板。

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