[發明專利]一種涂覆游離磨料的線鋸切割機

有效

• 申請號: 201310603698.1
• 申請日: 2013-11-25
• 公開（公告）號: CN103586989A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 王金生;李子法
• 申請（專利權）人: 王金生;臺州職業技術學院
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 臺州市方圓專利事務所 33107
• 代理人: 蔡正保;朱新穎

技術領域

本發明屬于材料切割技術領域，涉及一種線鋸切割機，特別是一種涂覆游離磨料的線鋸切割機。

背景技術

在電子、通訊和光伏行業中，半導體材料（例如，硅）一直有著廣泛應用。傳統的加工方法是，通過內圓鋸片切割棒狀半導體原料，這樣的加工方式無法滿足大直徑的半導體原料加工，并且加工過程中的原料損耗較大。隨著生產技術的發展，內圓鋸片切割逐步被線鋸切割技術所取代，線鋸切割技術是指通過一根表面鍍銅的鋼絲線，繞在張緊裝置上，再來回繞過帶有凹槽的導向輪，形成一排線網，通過張緊的線網對半導體材料進行切割。為了提高鋼絲線的切割效果，可以通過電鍍、樹脂粘結等方法將磨料固定在鋼絲線上或者在切割過程中將游離狀態的磨料噴射到鋼絲線表面。

現有技術中，游離狀態的磨料通常選用低粘度的漿料，載體和研磨劑顆粒以一定重量比混合而組合。載體為提供潤滑和冷卻的液體，如礦物油、煤油、聚乙二醇、聚丙二醇或其它聚亞炕基二醇；研磨劑選用硬質材料，如碳化硅顆粒。并且，漿料在使用過之后進行回收和再次利用。例如，中國專利【申請號200980151086.5；申請公布號CN102257604A】線鋸切割方法中公開的線鋸切割裝置，該線鋸切割裝置包含安裝和支撐頭，其適合于固持工件；線鋸，其相對于安裝和支撐頭走位使得在操作時該工件可與該線鋸接觸；施加區域，其用于將線鋸切割流體從再循環切割流體分配系統施加到該線鋸上，該施加區域被定位且適合于將切割流體輸送至該線鋸，該再循環切割流體分配系統限定切割流體流動路徑；線鋸切割流體出口區域，其適合于引導切割流體離開線鋸及固定的工件并回到該再循環切割流體分配系統中；再循環分配系統，其包含取樣管線、或傳感器、或者取樣管線及傳感器，其中，取樣管線用于獲得在切割過程期間的切割流體的樣品以監測該切割流體的一種或多種化學和/或物理性質，傳感器適合于監測切割流體的一種或多種化學和/或物理性質；以及化學添加劑進料管線，其適合于響應監測將化學品引入到再循環切割流體中以調節切割流體的化學組成以使所監測的性質的水平保持在或恢復至預定界限內。

上述線鋸切割裝置通過對切割流體進行物理性質和/或物理性質的檢測和控制使切割流體能夠進行循環利用，但是，該線鋸切割裝置對切割流體物理性質和/或物理性質的檢測和控制的裝置結構較為復雜，增加了生產成本，并且隨著循環次數增加，切割流體的物理性質和/或物理性質的恢復越來越困難，最終仍會造成切割流體失效廢棄，切割流體中的游離磨料的利用率依然處于較低的水平。

發明內容

本發明的目的是針對現有的技術存在上述問題，提出了涂覆游離磨料的線鋸切割機，本發明解決的技術問題是提高游離磨料的利用率。

本發明的目的可通過下列技術方案來實現：一種涂覆游離磨料的線鋸切割機，所述線鋸切割機包括線鋸、收線輪、放線輪和若干個導向輪，所述線鋸一端卷繞在放線輪上，另一端卷繞在收線輪上，所述線鋸在導向輪上鋪設形成由一條線鋸或者一條以上平行線鋸組成的切割部，上述切割部上具有用于放置待加工工件的加工工位，其特征在于，本線鋸切割機還包括設置在切割部處用于將漿料涂覆在加工工位進線處的線鋸表面的涂覆頭，上述涂覆頭通過管道與存放漿料的儲存罐相連，所述儲存罐上設置有能使漿料通過管道流向涂覆頭的輸送裝置。

本涂覆游離磨料的線鋸切割機的原理是：在線鋸切割加工過程中，通過涂覆頭在線鋸表面涂覆一層漿料，在線鋸高速運動的過程中，漿料能更有效地附著在線鋸上并被帶到加工工位處，使更多的磨料作用在待加工工件的切割區域。本涂覆游離磨料的線鋸切割機與常規的線鋸切割機相比，由于漿料能使更多的游離磨料到達切割區域，只需通過涂覆頭在線鋸上涂覆很少的漿料，提高了漿料的利用率。并且，省去了漿料的回收和循環系統，使線鋸切割機結構更簡單。

在上述的涂覆游離磨料的線鋸切割機中，所述線鋸沿同一方向相對于所述加工工位進線和出線，所述涂覆頭的數量為1個，且涂覆頭位于加工工位的進線一側。這樣的結構應用于線鋸單向運動的線鋸切割機上，只需在加工工位的進線一側設置涂覆頭，線鋸進入加工工位之前在其表面涂覆漿料。

作為另一種方案，在上述的涂覆游離磨料的線鋸切割機中，所述線鋸相對于所述加工工位做往復的切割運動，所述加工工位的兩側分別設置有涂覆頭。這樣的結構應用于線鋸往復運動的線鋸切割機上，線鋸切割加工過程中，加工工位進線一側的涂覆頭對線鋸涂覆濃漿，加工工位出線一側的涂覆頭不工作。