[發明專利]太陽能電池膜面開窗工藝

在審

• 申請號: 201310602314.4
• 申請日: 2013-11-25
• 公開（公告）號: CN103633189A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 葉權華;鄭飛
• 申請（專利權）人: 中電電氣（揚州）光伏有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 揚州蘇中專利事務所(普通合伙) 32222
• 代理人: 孫忠明

技術領域

本發明涉及一種太陽能電池膜面開窗工藝，屬于太陽能光伏電池制造技術領域。

背景技術

太陽能電池經過制絨、擴散及PECVD等工序后，已經制成PN結，可以在光照下產生電流，為了將產生的電流導出，需要在電池表面上制作正、負兩個電極。以上是常規電池工藝的生產流程，隨著產業化生產技術日益成熟，實驗室的高效電池工藝也逐步運用于產業化生產，當前比較熱門的高效電池工藝有：選擇性發射極電池、背場鈍化電池、交叉指型背接觸電池(IBC電池)等，而這些電池工藝都有涉及到在鍍有SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到鈍化和減反效果的薄膜)的膜面上進行選擇性開窗工藝，目前大家一般采用激光按照一定的圖形開窗或者用腐蝕漿料用特定圖形網版采用絲網印刷把漿料印在膜面上用腐蝕漿料腐蝕這些膜面進而達到開窗的目的，但是激光設備價格昂貴，一次投入非常大，而腐蝕漿料雖然初始投入不高，但是漿料較貴，后期的運營投入大。

發明內容

本發明的目的是提供一種太陽能電池膜面開窗工藝，解決上述現有技術存在的缺陷，通過本發明有效的克服激光設備初次投入成本高和腐蝕漿料后期運營成本高的缺點。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的，一種太陽能電池膜面開窗工藝，其特征是，所述工藝是將腐蝕氣體注入具有進氣管路和出氣管路的置有待開窗硅片的腔體內，腐蝕氣體流量控制在0~5?L/m。

所述腐蝕氣體為氫氟酸氣體或添加有添加劑的氫氟酸氣體的混合物。

所述腔體內設置有開窗區域和真空區域，真空區域內置入真空管路，真空管路將硅片吸住，從進氣管路通進腐蝕氣體。

所述腔體的進氣管路和出氣管路在腔體外連通循環或不連通。

本發明主要采用能腐蝕SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到鈍化和減反效果的薄膜)的氣體(氫氟酸氣體或添加有添加劑的氫氟酸氣體的混合物等等所有能腐蝕這種薄膜的氣體)來腐蝕膜面達到開窗的目的，氣體流量控制在0~5?L/m，高效的氣體腐蝕速率，不僅產能高、工藝相對穩定適合量產，而且有效的克服了激光初次投入成本高和腐蝕漿料后期運營成本高的缺點。

附圖說明

圖1為本發明中的設備示意圖；

圖2為圖1中的設備腔體剖面圖；

圖中，1腔體，2進氣管路，3氣體流經途徑，4出氣管路，5真空管路，6開窗位置，7硅片。

具體實施方式

結合附圖和實施例進一步說明本發明，如圖1所示，本發明用鍍有SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到鈍化和減反效果的薄膜)膜的硅片7。腐蝕氣體從進氣管路2通入腔體1，從出氣管路4出來，進氣管路2和出氣管路4根據工藝要求可以連通循環使用也可以不連通。如圖1所示，腔體1內開窗位置6與內部氣體需連通，而真空管路5位置與腔體1內是隔絕的，腐蝕氣體通過開窗位置6與鍍膜硅片7的膜面直接接觸從而達到與膜面反應去除膜面的目的，真空管路4則是通過通入負壓將硅片7吸住。真空管路5開窗位置6必須嚴格密封，使腐蝕氣體不能通到真空管路5中。開窗尺寸大小根據工藝要求可做到的尺寸在10~200um，真空管路5主要起到吸住硅片7的目的，根據工藝和成本的要求可以在非開窗位置全部鋪設真空孔（或者沿開窗孔壁通入一層真空或者與開窗孔一樣做成10~200um的真空管路或從上面往下壓住硅片等，包括所有能實現吸住或壓住硅片的方式，以起到隔絕腐蝕氣體進入不需要開窗的區域和吸住硅片防止硅片出現位移）。開窗的圖形根據工藝要求可以是直線，也可以是斷線連接而成，也可以是一個個點組成，不管哪種圖形線或點的尺寸需在10~200um的范圍內。