[發明專利]平板單偏振太赫茲波輸出器

有效

• 申請號: 201310599633.4
• 申請日: 2013-11-25
• 公開（公告）號: CN103675994A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 李九生
• 申請（專利權）人: 中國計量學院
• 主分類號: G02B6/125
• 分類號: G02B6/125;G02B6/126
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.?一種平板單偏振太赫茲波輸出器，其特征在于包括輸入端（1）、第一信號輸出端（2）、第二信號輸出端（3）、平板單偏振波輸出器（4）、基底（5）、左矩形波導（6）、梯形波導（7）、圓環形波導（8）、中部矩形波導（9）、大矩形波導（10）、右上矩形波導（11）、右下矩形波導（12）；基底（5）的上表面設有左矩形波導（6）、梯形波導（7）、圓環形波導（8）、中部矩形波導（9）、大矩形波導（10）、右上矩形波導（11）、右下矩形波導（12），左矩形波導（6）的左端與基底（5）的左端邊相連，左矩形波導（6）的左端設有信號輸入端（1），梯形波導（7）的左端與左矩形波導（6）的右端相連，梯形波導（7）的右端上部與圓環形波導（8）的左端相連，梯形波導（7）的右端下部與中部矩形波導（9）的左端相連，大矩形波導（10）的左端上下部分別與圓環形波導（8）的右端和中部矩形波導（9）的右端相連，大矩形波導（10）的右端上下部分別與右上矩形波導（11）的左端和右下矩形波導（12）的左端相連，右上矩形波導（11）的右端、右下矩形波導（12）的右端均與基板（5）的右端邊相連，右上矩形波導（11）的右端、右下矩形波導（12）的右端分別設有第一信號輸出端（2）、第二信號輸出端（3），信號從信號輸入端（1）進入平板單偏振波輸出器（4）后分別從第一信號輸出端（2）、第二信號輸出端（3）輸出。

2.?根據權利要求1所述的一種平板單偏振太赫茲波輸出器，其特征在于所述的平板單偏振波輸出器（4）的長度為14μm~16μm，寬度為9μm~11μm，它由基底層和波導層組成，其中基底層的材料為二氧化硅，波導層的材料為硅，波導層厚度均為0.2μm~0.3μm。

3.?根據權利要求1所述的一種平板單偏振太赫茲波輸出器，其特征在于所述的基底（5）的長度為14μm~16μm，寬度為9μm~11μm，厚度為3.5μm~4.5μm。

4.?根據權利要求1所述的一種平板單偏振太赫茲波輸出器，其特征在于所述的左矩形波導（6）的長度為0.9μm~1.2μm，寬度為0.2μm~0.4μm。

5.?根據權利要求1所述的一種平板單偏振太赫茲波輸出器，其特征在于所述的梯形波導（7）的上底邊長度為0.2μm~0.4μm，下底邊長度為0.9μm~1.1μm，高為0.9μm~1.1μm。

6.?根據權利要求1所述的一種平板單偏振太赫茲波輸出器，其特征在于所述的圓環形波導（8）的外圓半徑為5.5μm~7μm，內圓半徑為4μm~5μm，圓心角為40°~60°。

7.?根據權利要求1所述的一種平板單偏振太赫茲波輸出器，其特征在于所述的中部矩形波導（9）的長度為3μm~5μm，寬度為0.3μm~0.6μm。

8.?根據權利要求1所述的一種平板單偏振太赫茲波輸出器，其特征在于所述的大矩形波導（10）的長度為5μm~6μm，寬度為3μm~4μm。

9.?根據權利要求1所述的一種平板單偏振太赫茲波輸出器，其特征在于所述的右上矩形波導（11）的長度為2μm~3μm，寬度為0.5μm~0.7μm；所述的右下矩形波導（12）的長度為2μm~3μm，寬度為0.5μm~0.7μm。