[發明專利]搬送機構

有效

• 申請號: 201310596891.7
• 申請日: 2013-11-22
• 公開（公告）號: CN103855064B
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 山田智廣
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,蔡麗娜

1.一種搬送機構，其通過保持板狀工件的外周部的保持部來保持板狀工件，并將板狀工件搬送到具有保持面的保持工作臺上，上述保持面用于保持圓形的板狀工件的下表面，

上述搬送機構的特征在于，

上述保持部包括：保持爪，其與板狀工件的外周部處的側面以及下表面接觸；引導銷，其與上述保持爪并列設置并與板狀工件的側面接觸；拉伸彈簧，其沿板狀工件的徑向朝向中心對上述引導銷施加彈力；以及第1滑塊，其對通過上述拉伸彈簧而移動的上述引導銷進行定向，

上述搬送機構具有：第2滑塊，其將上述保持部的移動定向在板狀工件的徑向上；以及移動部，其使上述保持部沿板狀工件的徑向移動，

在保持板狀工件時，通過上述移動部的工作使至少3個上述保持部沿板狀工件的徑向朝向中心移動，從而使上述引導銷與板狀工件的側面接觸，并且使上述保持爪與板狀工件的外周部處的側面以及下表面接觸從而保持板狀工件，

在釋放板狀工件時，通過上述移動部的工作使至少3個上述保持部沿板狀工件的徑向朝向外側移動，留下上述引導銷而使上述保持爪向板狀工件的外側移動，使上述保持爪離開板狀工件的外周部，但是通過上述拉伸彈簧的彈力使上述引導銷繼續與板狀工件的側面接觸，從而維持著上述搬送機構保持的板狀工件在相對于上述保持面平行的方向的位置，將板狀工件搬送至上述保持工作臺上后，通過上述移動部的工作使至少3個該保持部沿板狀工件的徑向朝向外側移動，從而使該引導銷與該保持爪一體地向板狀工件的外側移動，使該引導銷離開板狀工件的外周部。