[發明專利]靜壓流體引導裝置以及使用了靜壓流體引導裝置的機床

有效

• 申請號: 201310596820.7
• 申請日: 2013-11-22
• 公開（公告）號: CN103846751B
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 大和宏樹
• 申請（專利權）人: 株式會社捷太格特
• 主分類號: B24B5/35
• 分類號: B24B5/35;B24B55/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 李洋,蘇琳琳

技術領域

本申請主張于2012年12月4日提出的日本專利申請2012-265340號的優先權，并在此引用包括其說明書、附圖以及摘要的全部內容。

本發明涉及靜壓流體引導裝置以及使用了靜壓流體引導裝置的機床。

背景技術

靜壓流體引導裝置是將兩個部件維持為非接觸來降低摩擦的裝置。因此，在相對移動的兩個部件的對置面的一方設置有凹狀的靜壓凹部，從靜壓凹部噴出空氣、油等流體，在兩個部件之間形成規定的厚度的流體的流出層。由此，提高兩個部件間的滑動性能，并且實現提高引導面間的剛性。例如，在日本特開平6-735號公報所記載的現有技術中，通過縮徑部（orifice）（可變縮徑部）對供給至上下引導面、左右引導面、以及與各引導面對置的各滑動面的靜壓凹部的壓力進行調整來提高滑動性能，并且實現提高引導面間的剛性。

然而，在日本特開平6-735號公報所記載的現有技術中，為了確保穩定的剛性，需要高精度地進行各引導面的加工以及兩個部件的組裝。因此加工成本升高，制造工時增加。

發明內容

本發明提供即使加工精度以及組裝精度產生差別也能夠穩定地確保引導面間的高剛性的靜壓流體引導裝置以及使用了靜壓流體引導裝置的機床。

根據本發明的一個實施方式的靜壓流體引導裝置，具備：固定體，其具有面向相反方向的一對縱引導面；可動體，其具有分別與所述一對縱引導面對置的一對縱滑動面；流體供給裝置；靜壓凹部，其設置于與所述一對縱引導面中成為基準面的一方的縱引導面對置的一方的縱滑動面，借助所述流體供給裝置供給流體而作用有與所述一方的縱引導面和所述一方的縱滑動面之間的間隙的大小對應的第一流體壓力，并以第一作用力對所述可動體向另一方的縱引導面的方向施力；液壓凹部，其設置于與所述一對縱引導面中所述另一方的縱引導面對置的另一方的縱滑動面，借助所述流體供給裝置供給流體而作用有與所述另一方的縱引導面和所述另一方的縱滑動面之間的間隙的大小對應的第二流體壓力，并以第二作用力對所述可動體向所述一方的縱引導面的方向施力，相對于所述另一方的縱引導面與所述另一方的縱滑動面之間的所述間隙的變化量的所述第二流體壓力的變化量，比相對于所述一方的縱引導面與所述一方的縱滑動面之間的所述間隙的變化量的所述第一流體壓力的變化量小，當所述第一作用力和所述第二作用力在水平方向上平衡時，作為所述基準面的所述一方的縱引導面與所述一方的縱滑動面之間的所述間隙為設定值。

附圖說明

以下通過參照附圖對本發明的優選實施方式進行詳細地描述，本發明的上述及其它目的、特征及優點會變得更加清楚，其中，對相同的部件標注相同的標記。

圖1是說明使用了本發明的靜壓流體引導裝置的磨床的一個實施方式的俯視圖。

圖2是圖1的A-A剖視圖。

圖3是說明可變縮徑部的構造的剖視圖。

圖4是說明本發明的靜壓流體引導裝置的流體壓力與間隙、以及間隙與引導件的剛性之間的關系的曲線圖。

圖5是說明變形例1的圖。

圖6是說明變形例2的圖。

圖7是說明變形例3的圖。

圖8是說明變形例4的圖。

具體實施方式

以下，參照附圖說明本發明的實施方式。

以下，使用附圖對用于實施本發明的方式進行說明。圖1表示應用了本發明的靜壓流體引導裝置40的磨床1的一個實施方式。磨床1是砂輪座（wheel head）橫向進給型磨床。圖1表示磨床1的俯視圖的例子，圖2表示圖1的A-A剖視圖。另外，在記載有X軸、Y軸、Z軸的全部附圖中，X軸、Y軸以及Z軸彼此正交，Y軸表示鉛垂向上，Z軸和X軸表示水平方向。Z軸表示工件旋轉軸方向，X軸方向表示砂輪15（相當于本發明的工具）切入工件W（相當于本發明的工作物）的方向。

如圖1所示，磨床1具備床身11、對固定于床身11的工件W進行兩端支承以使工件W能夠旋轉的主軸臺（work head）12、以及尾座裝置（foot stock）13。磨床1還具備：能夠在床身11上沿Z軸方向以及X軸方向移動的砂輪座（wheel head）14（相當于本發明的可動體）、被砂輪座14支承為能夠旋轉的砂輪（grinding wheel）15、靜壓流體引導裝置40（參照圖2）、驅動主軸臺12以及砂輪15并且控制砂輪15相對于工件W的位置的控制裝置18。