[發明專利]Ni-Fe-W合金靶材及其制造方法有效
| 申請號： | 201310596436.7 | 申請日： | 2013-11-21 |
| 公開（公告）號： | CN104651788A | 公開（公告）日： | 2015-05-27 |
| 發明（設計）人： | 張鳳戈;穆健剛;李建奎;姚偉;梁俊才;姜海;馬志偉;文彬;王雷 | 申請（專利權）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C22C19/03;C22C1/02 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 劉春成;張向琨 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | ni fe 合金 及其 制造 方法 | ||
1.一種Ni-Fe-W合金靶材，其特征在于，按原子百分比由以下元素組成：Fe2-20%，W2-15%，Ni65～96%。
2.根據權利要求1所述的Ni-Fe-W合金靶材，其特征在于，按原子百分比由以下元素組成：Fe10%，W8%，Ni82%。
3.一種權利要求1-2任一所述的Ni-Fe-W合金靶材的制造方法，其特征在于，依次包括配料步驟，熔煉、鑄錠步驟，鍛造步驟，熱處理步驟，軋制步驟和機加工生產成品步驟，其中：
在所述熔煉、鑄錠步驟中，所述熔煉是采用真空感應熔煉，其中精煉時間為5～10分鐘；在熔煉后的合金液體溫度達到液相線以上50～100℃時進行澆鑄；
在所述鍛造步驟中，將鑄錠在1000～1300℃條件下保溫2～4小時后進行鍛造以得到鍛坯；
在所述熱處理步驟中，將鍛坯在1200℃～1350℃條件下保溫12～36小時進行熱處理。
在所述軋制步驟中，將熱處理后的板坯在1000～1250℃條件下保溫1～1.5小時后進行熱軋，然后冷卻至室溫并在室溫條件下進行冷軋，所述冷軋的總變形量為50%以上。
4.根據權利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述軋制步驟中，將熱處理后的板坯放入軋鋼加熱的馬弗爐以在1100～1200℃條件下保溫1～1.5小時。
5.根據權利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述配料步驟中使用的金屬原料的純度在99.95％以上。
6.根據權利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述軋制步驟中，所述冷軋的總變形量為50-70%。
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