[發明專利]干涉物鏡驅動裝置

無效

• 申請號: 201310595937.3
• 申請日: 2013-11-21
• 公開（公告）號: CN103615990A
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發明（設計）人: 鐘博文;王振華;孫立寧;金子祺;錢哲
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

1.一種干涉物鏡驅動裝置，其特征在于，所述干涉物鏡驅動裝置包括：

本體，所述本體上形成有貫通的腔室，所述腔室的一側一體形成雙平行板四桿機構，所述雙平行板四桿機構由柔性鉸鏈形成；

安裝架和固定架，所述安裝架設置于所述雙平行板四桿機構上，且與所述雙平行板四桿機構一體成型，所述固定架與所述安裝架相對地設置于所述本體的另一端；

壓電陶瓷、預緊頂絲、滾珠，所述壓電陶瓷、滾珠位于所述腔室中，所述預緊頂絲與所述本體相螺接，且與所述雙平行板四桿機構相對設置，所述滾珠與所述預緊頂絲相配合，且與壓電陶瓷相抵靠，所述壓電陶瓷與所述滾珠相對的一端與所述雙平行板四桿機構相抵靠。

2.根據權利要求1所述的干涉物鏡驅動裝置，其特征在于，所述滾珠部分鑲嵌于所述預緊頂絲中。

3.根據權利要求1所述的干涉物鏡驅動裝置，其特征在于，所述預緊頂絲包括第一頂絲和第二頂絲，所述第一頂絲和第二頂絲通過方向相反的螺紋與所述本體相螺接。

4.根據權利要求1所述的干涉物鏡驅動裝置，其特征在于，所述滾珠和壓電陶瓷之間還設置有鎢鋼片，所述鎢鋼片與所述壓電陶瓷的一端進行固定連接，所述滾珠抵靠于所述鎢鋼片上。

5.根據權利要求1所述的干涉物鏡驅動裝置，其特征在于，所述柔性鉸鏈最大形變量時的恢復力小于與其相互作用的壓電陶瓷的最大驅動力。

6.根據權利要求5所述的干涉物鏡驅動裝置，其特征在于，所述柔性鉸鏈的材質為超硬鋁。

7.根據權利要求1所述的干涉物鏡驅動裝置，其特征在于，所述貫通的腔室具有相對設置的開口，所述相對設置的開口分別由上蓋板和下蓋板進行封閉。

8.根據權利要求1所述的干涉物鏡驅動裝置，其特征在于，所述安裝架上形成有安裝干涉物鏡的螺紋。

9.一種干涉物鏡驅動裝置，其特征在于，所述干涉物鏡驅動裝置包括：

本體，所述本體上形成有貫通的腔室，所述腔室的一側一體形成對稱四桿機構，所述雙對稱四桿機構由柔性鉸鏈形成；

安裝架和固定架，所述安裝架設置于所述對稱四桿機構上，且與所述對稱四桿機構一體成型，所述固定架與所述安裝架相對地設置于所述本體的另一端；

壓電陶瓷、預緊頂絲、滾珠，所述壓電陶瓷、滾珠位于所述腔室中，所述預緊頂絲與所述本體相螺接，且與所述對稱四桿機構相對設置，所述滾珠位于所述壓電陶瓷和預緊頂絲之間，并與二者相抵靠，所述壓電陶瓷與所述滾珠相對的一端與所述對稱四桿機構相抵靠。