[發明專利]互不固溶金屬的直接鍵合連接工藝

有效

• 申請號: 201310593853.6
• 申請日: 2013-11-22
• 公開（公告）號: CN103692147A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 黃遠;潘光軍;何芳;王玉林
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: B23P11/00
• 分類號: B23P11/00
• 代理公司: 天津市杰盈專利代理有限公司 12207
• 代理人: 王小靜

1.一種互不固溶金屬鉬與金屬銅的直接鍵合連接工藝，其特征在于包括以下步驟：

1）鉬板和銅箔的前處理：將用酒精洗過的鉬板浸入去油液中浸泡，取出后放入去離子水中清洗；然后將經過去油清洗的鉬板放入刻蝕液中進行刻蝕，刻蝕結束后浸入去離子水中浸泡，然后在去離子水中進行超聲波清洗，超聲清洗結束后晾干待用；銅箔進行去油清洗，取出后放入去離子水中清洗，晾干待用；?

2）鉬/銅疊裝配加壓：將經過前處理的鉬板和銅箔疊合后，上下面依次分別蓋上石英片和鈮板，然后四角上用扭矩扳手擰緊鉬制螺栓加壓；

3）鍵合退火：將加壓好的樣品放入氣氛爐中進行氬氣保護退火，保溫時間控制在2-2.5min。

2.按照權利要求1所述的工藝，其特征在于步驟3）退火溫度選擇在850℃~1050℃，保溫時間為2小時。

3.按照權利要求1所述的工藝，其特征在于步驟2）所述加壓方式為：采用扭矩扳手擰緊鈮板上四角的鉬制螺栓，規格為M8，進行加壓；扭矩為為40~60N·m。

4.按照權利要求1所述的制備工藝，其特征在于步驟3）所述退火過程所采用的退火溫度為950℃。

5.按照權利要求4所述的制備工藝，其特征在于所述退火過程為：以5℃每分鐘的升溫速率升至250℃，在250℃保溫10分鐘，然后以6.5℃每分鐘的升溫速率升至950℃，在950℃下保溫2小時，保溫結束后開始降溫，降溫方式為隨爐冷卻。

6.按照權利要求1所述的工藝，其特征在于所述的刻蝕液組成為：37%濃鹽酸?150mL+98%濃硫酸150mL+蒸餾水+80g三氧化鉻。

7.按照權利要求1所述的工藝，其特征在于所獲鉬/銅連接件的鍵合連接強度為203MPa。