[發(fā)明專利]確定掩模圖案和曝光條件的方法以及計算機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310593722.8
• 申請日: 2013-11-21
• 公開（公告）號: CN103838089A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設計）人: 三上晃司
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/36
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 歐陽帆

1.一種用于通過使用計算機確定由照明光學系統(tǒng)形成的有效光源分布以及用在曝光設備中的掩模的圖案的確定方法，所述曝光設備包括被配置為使用來自光源的光照射掩模的照明光學系統(tǒng)和被配置為將掩模的多個圖案元素的圖像投影到襯底上的投影光學系統(tǒng)，所述方法包括如下的步驟：

設定用于評價在投影光學系統(tǒng)的像面上的掩模的多個圖案元素的圖像的評價位置、以及用于在評價位置處評價的評價項目；

設定用于定義掩模的多個圖案元素的形狀的第一參數(shù)；

設定用于定義有效光源分布的第二參數(shù)；以及

在改變第一參數(shù)和第二參數(shù)的值的同時重復掩模的多個圖案元素的圖像的計算以及評價項目的值的計算的過程，由此確定有效光源分布以及掩模的圖案，

其中在設定第一參數(shù)的步驟中，掩模的多個圖案元素中的圖案元素的參數(shù)通過使用表示鄰近效應的指標的值被設定作為一個參數(shù)，所述鄰近效應為掩模的多個圖案元素中的與評價圖案元素相鄰的相鄰圖案元素對評價圖案元素的評價位置處的評價圖案元素的圖像所具有的鄰近效應。

2.根據(jù)權利要求1所述的確定方法，其中設定第一參數(shù)的步驟包括如下的步驟：

定義圖像形成特性；

設定被配置為評價圖像形成特性的第二評價位置；

計算關于每個第二評價位置的圖像形成特性的每個值；

將所計算出的圖像形成特性的值分組到預設的組中，并且將圖像形成特性的多個值分組到一個組中；以及

將與被分組到一個組中的圖像形成特性的值對應的第二評價位置中的第一參數(shù)設定作為一個參數(shù)。

3.根據(jù)權利要求2所述的確定方法，

其中設定第一參數(shù)的步驟包括定義用于將所計算出的圖像形成特性的值分組到預設數(shù)量的組中的算法的步驟，以及

其中所述算法是用于在被輸入到相同的組中的圖像形成特性的值的范圍內分組的算法，以及

其中，在分組的步驟中，計算圖像形成特性的值的范圍中的每個組的中值，并且對于包括所計算出的中值的每個組執(zhí)行分組。

4.根據(jù)權利要求3所述的確定方法，其中中值被計算為使中值和各個圖像形成特性的值之間的差的平方和最小化。

5.根據(jù)權利要求3所述的確定方法，其中使用等差數(shù)列設定中值。

6.根據(jù)權利要求1所述的確定方法，其中表示鄰近效應的指標是評價圖案元素的圖像和相鄰圖案元素的圖像之間的尺寸差。

7.根據(jù)權利要求1所述的確定方法，其中表示鄰近效應的指標是在使用第一有效光源分布照射評價圖案元素的情況與使用具有與第一有效光源分布的形狀不同的形狀的第二有效光源分布照射評價圖案元素的情況之間的評價圖案元素的CD差。

8.根據(jù)權利要求1所述的確定方法，還包括改變組數(shù)量并且重復有效光源分布和掩模的圖案的確定的步驟。

9.根據(jù)權利要求8所述的確定方法，其中通過對于有效光源分布和掩模的圖案的確定的計算次數(shù)是否已經超過預定數(shù)量，來確定是否改變組數(shù)量。

10.一種計算機，被配置為運行根據(jù)權利要求1所述的確定方法。