[發(fā)明專利]探測板的加工方法

有效

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• 申請日: 2013-11-20
• 公開（公告）號: CN103558741A
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發(fā)明（設計）人: 黃克飛;陳靜;顧亞平;魏向榮
• 申請（專利權）人: 上海現(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

技術領域

本發(fā)明涉及光刻機，特別是一種用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，該探測板主要用于分步投影光刻機探測標記的位置對準，該向成果直接影響到分步投影光刻機里的硅片向位光柵自動對準。?

背景技術

目前歐美國家加工探測板的設備是在精密銑磨加工中心加工中心機床上增加了在線測量裝置的專用加工設備，這類設備目前還沒有對外銷售。用這類專用加工設備可在零件加工過程中對所加工的尺寸進行測量并將數(shù)據(jù)閉環(huán)反饋修正加工中心機床加工參數(shù)，實現(xiàn)高精度的銑磨加工，很容易達到3個孔位中心相對4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm、探測板邊緣基準與4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm的要求。而國內加工探測板的數(shù)據(jù)測量修正需要將零件從加工中心機床上取下來，在分離的測量儀器上得到數(shù)據(jù)去修正設備參數(shù)，造成加工過程數(shù)據(jù)偏差，使得加工成品率低，遠遠不能滿足90nm光刻機的要求。?

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，該方法加工的探測板的3個孔位的中心相對4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm、探測板邊緣基準與4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm的要求，符合光刻機向位光柵自動對準要求。?

本發(fā)明的技術解決方案如下：?

一種用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特點在于，該方法包括下列步驟：?

1）在潔凈工作室里，工作人員帶上防靜電手套，將膠合好的探測板的上下兩平面用防靜電光學玻璃擦拭布蘸上酒精進行擦拭，在擦拭過程中把探測板放在100w的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，擦拭完畢；?

2）將擦拭好的探測板放到工具顯微鏡平移臺上，鍍膜面向上，調整側照光源，使側照光源的光軸與顯微鏡的中軸線的夾角小于20度；?

3）用工具顯微鏡分別測量探測板鍍膜面的4個十字標記與探測板邊緣的距離A、B、C、D各3次，注意測量要求是：十字標記線寬為0.01mm，讀取數(shù)據(jù)時，目測按照線寬中間位置取數(shù)，有效數(shù)據(jù)精度控制到小數(shù)點后3位，然后求平均得A、B、C、D：?

A=（A1+A2+A3）/3?

B=（B1+B2+B3）/3?

C=（C1+C2+C3）/3?

D=（D1+D2+D3）/3；；?

4）用工具顯微鏡分別測量探測板四邊的垂直度，數(shù)值小于0.1mm，如果大于0.1mm，將在后面加工基準時修正；?

5）將夾具水平安裝到加工中心機床工作臺面上，調整加工中心機床X向、Y向與所述的夾具X側基準邊、Y向側基準邊，預固定夾具，用杠桿百分表調整夾具的X向側基準邊、Y向側基準邊的誤差小于0.02mm；?

6）將杠桿百分表更換為杠桿千分表，調整夾具的X向側基準邊（1）與加工中心機床X向精度小于0.008mm、調整夾具的Y向側基準邊（3）與加工中心機床Y向精度小于0.008mm；?

7）將所述的探測板水平放到所述的夾具的水平基準面上，使所述的探測板的X向側基準邊緊靠加工中心機床的X向基準邊，探測板的Y向側基準邊緊靠加工中心機床的Y向基準邊，然后用4個水平壓條壓緊，壓緊壓力為2～3kg；?

8）在加工中心機床主軸上安裝鎳基天然金剛石磨頭，設置加工中心機床參數(shù)：?

磨頭類型：圓柱端面、側磨型?

磨頭直徑尺寸：5mm?

磨頭柄徑尺寸：5mm?

金剛石粒度：180～280#?

加工中心機床加工模式：螺旋進給?

螺旋進給量：0.8～1mm?

主軸轉速：2300～3000rpm?

進給速度：80～100mm/min?

深度進給量：0.04～0.06mm;?

9）根據(jù)步驟3）所述的A、B、C、D，加工所述的探測板X向基準邊和Y向基準邊，每邊預留0.5mm調整余量,即距離十字標記尺寸為2.5+0.5=3mm，加工深度為1mm；?

10）取下所述的探測板，用工具顯微鏡分別測量探測板鍍膜面的4個十字標記與探測板邊緣的距離a、b、c、d，當a、b、c、d都小于等于0.01mm，進入步驟11）；若a、b、c或d大于0.015mm，則返回到步驟7）；?

11）加工探測板外形及特征1、特征2：?

特征1是位于探測板三個角部的3個直徑6mm深度1mm的同心圓沉孔,同心圓沉孔的1邊設有1個缺口.同心圓沉孔的圓心與探測板邊緣的距離由設計圖決定，即分別與X基準邊尺寸t1y1、t1y2，與Y基準邊尺寸t1x1、t1x2；?