[發明專利]具有超結結構的高壓IGBT無效
| 申請號： | 201310587334.9 | 申請日： | 2013-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN103594502A | 公開（公告）日： | 2014-02-19 |
| 發明（設計）人： | 曹琳 | 申請（專利權）人： | 西安永電電氣有限責任公司 |
| 主分類號： | H01L29/739 | 分類號： | H01L29/739;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 710016 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 結構 高壓 igbt | ||
【權利要求書】：
1.一種具有超結結構的高壓IGBT，所述IGBT包括漂移區、位于所述漂移區上方的p型區及n型區、位于所述漂移區下方的緩沖層、以及位于所述緩沖層下方的注入層，其特征在于，所述漂移區為由交替相間的p柱和n柱構成的超結結構。
2.根據權利要求1所述的具有超結結構的高壓IGBT，其特征在于，所述緩沖層為n型區，所述注入層為p型區。
3.根據權利要求2所述的具有超結結構的高壓IGBT，其特征在于，所述注入層為p+摻雜。
4.根據權利要求1所述的具有超結結構的高壓IGBT，其特征在于，所述漂移區中的p柱為p-摻雜，n柱為n-摻雜。
5.根據權利要求1所述的具有超結結構的高壓IGBT，其特征在于，所述漂移區上方n型區兩端分別設有發射極和柵極，所述注入層的下方設有集電極。
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