[發明專利]用于納米壓印模具的摻雜二氧化鈦的石英玻璃無效
| 申請號： | 201310585969.5 | 申請日： | 2008-06-06 |
| 公開（公告）號： | CN103698974A | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發明（設計）人： | 毎田繁;大塚久利 | 申請（專利權）人： | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 納米 壓印 模具 摻雜 氧化 石英玻璃 | ||
【權利要求書】：
1.一種摻雜二氧化鈦的石英玻璃的納米壓印模具，對于10mm厚的該玻璃層，對于365nm波長的UV輻射，其具有至少80%的內部透射率，
且對于365nm波長的UV輻射，其具有最高10%的內部透射率分布，
其中，內部透射率分布被定義為在10mm厚的該玻璃層的任意區域測量的內部透射率的最大值和最小值之差。
2.權利要求1所述的納米壓印模具，其含有5～10%重量的二氧化鈦，具有最高為3%重量的二氧化鈦濃度分布，具有最高為5×10-4的折射率分布，且具有最高為30nm/cm的雙折射。
3.權利要求1所述的納米壓印模具，其沒有夾雜物。
4.權利要求1所述的納米壓印模具，其具有最高為500ppm的氯濃度。
5.權利要求1所述的納米壓印模具，其具有最高為1000ppm的OH濃度。
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