[發明專利]一種用于直拉單晶爐熱場的組合加熱器有效
| 申請號： | 201310585963.8 | 申請日： | 2013-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN104762655A | 公開（公告）日： | 2015-07-08 |
| 發明（設計）人： | 方峰;王學鋒;高朝陽;曾澤紅;鄧德輝;鄭沉 | 申請（專利權）人： | 有研新材料股份有限公司;有研半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/14 | 分類號： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 劉秀青;熊國裕 |
| 地址： | 100088 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 直拉單晶爐熱場 組合 加熱器 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于直拉單晶爐熱場的組合加熱器，其特征在于，該加熱器為由兩個螺旋管狀的環形發熱部件組合而成的雙螺旋管狀結構，所述兩個環形發熱部件分別連接相互獨立的電源。
2.根據權利要求1所述的用于直拉單晶爐熱場的組合加熱器，其特征在于，通電后兩個環形發熱部件中電流的方向彼此相反。
3.根據權利要求1所述的用于直拉單晶爐熱場的組合加熱器，其特征在于，所述兩個環形發熱部件的內徑相同，其中一個環形發熱部件位于另一環形發熱部件的上方。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的用于直拉單晶爐熱場的組合加熱器，其特征在于，所述兩個環形發熱部件之間為電氣絕緣。
5.根據權利要求1～3中任一項所述的用于直拉單晶爐熱場的組合加熱器，其特征在于，所述環形發熱部件具有三個連接柱，其中兩個連接柱位于該環形發熱部件沿軸線方向的一端，第三個連接柱位于該環形發熱部件沿軸線方向的另一端。
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