[發明專利]一種柔性共面波導的制造方法

有效

• 申請號: 201310583489.5
• 申請日: 2013-11-20
• 公開（公告）號: CN103840243A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 于映;丁可柯;李若舟;靳蘋蘋
• 申請（專利權）人: 南京郵電大學
• 主分類號: H01P11/00
• 分類號: H01P11/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 葉連生

1.一種柔性共面波導的制造方法，其特征在于該方法按照以下步驟實現：

第一步：選擇厚度為0.065～0.1mm介電常數為2.8～3.2的聚酰亞胺薄膜材料，使用無水乙醇和丙酮對聚酰亞胺材料進行清洗并烘干；

第二步：將清洗烘干后的聚酰亞胺材料放置到磁控濺射設備的真空室中，用夾具裝夾在樣品架上，在磁控濺射設備的真空室開始放電后，用放電的等離子體對聚酰亞胺材料轟擊1～2分鐘，然后在聚酰亞胺材料上濺射上1～2微米厚的鋁薄膜，沉積完成后用等離子體再對聚酰亞胺材料進行轟擊1～3分鐘；

第三步：將沉積了鋁薄膜的聚酰亞胺材料放置于甩膜機上，旋涂2～4微米厚的正性光刻膠，之后放置于烘膠臺上，用90～100℃的溫度烘烤2～5分鐘再降至室溫，放置于光刻機上，用共面波導掩模版進行紫外光曝光后取出；

第四步：將曝光后的聚酰亞胺材料放入正性光刻膠顯影液中進行顯影30～40秒，待圖形顯示出來后從顯影液中取出，用去離子水沖洗干凈并烘干；

第五步：將顯影后的聚酰亞胺材料放入鋁膜腐蝕液中加熱至60～80℃進行腐蝕，腐蝕2～4分鐘后，將腐蝕出共面波導圖形的聚酰亞胺材料取出，用去離子水沖洗干凈并烘干；

第六步：將腐蝕出共面波導圖形的聚酰亞胺材料放入丙酮中，將聚酰亞胺表面的正性光刻膠去掉，之后用去離子水沖洗并烘干。

2.按權利要求1所述的柔性共面波導的制造方法，其特征在于，所述在聚酰亞胺材料上濺射上1～2微米厚的鋁薄膜的方法，是在濺射鋁膜時沉積3～5分鐘后，間歇3～5分鐘，這樣重復5～8次進行沉積。

3.按權利要求1所述的柔性共面波導的制造方法，其特征在于，所述的腐蝕方法是把腐蝕液用水浴恒溫加熱至60～80℃時，將聚酰亞胺材料放入腐蝕液中進行薄膜的腐蝕。