[發明專利]成膜裝置及真空腔室的開閉機構

無效

• 申請號: 201310581049.6
• 申請日: 2013-11-18
• 公開（公告）號: CN103966568A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 飯尾逸史
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/32
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

技術領域

本申請主張基于2013年1月29日申請的日本專利申請第2013-014654號的優先權。該申請的所有內容通過參考援用于本說明書中。

本發明涉及一種成膜裝置及真空腔室的開閉機構。

背景技術

以往，作為進行真空腔室的開閉的開閉機構，已知有專利文獻1中所記載的開閉機構。專利文獻1的開閉機構具備：閥體，用于堵住用于搬入搬出基板的真空腔室的孔部；Ｏ型環，通過被閥體按壓來密封孔部；及1個缸體，為了開閉孔部而移動閥體。

專利文獻1：日本特開平06-338469號公報

如上述的開閉機構中，缸體使閥體移動至堵住孔部的位置，并且通過在該位置用閥體按壓Ｏ型環來確?？撞康臍饷苄?。即，缸體為1個，因此該缸體同時具有移動閥體的功能和按壓Ｏ型環的功能。在此，按壓Ｏ型環需要較大的力，因此需要加大缸徑。另一方面，移動閥體需要加長缸體的行程?；谝陨侠碛?，需要應用行程長且缸徑大的缸體。然而，當為這種結構時，即使在進行移動閥體的動作時，也以與按壓Ｏ型環時相等的力進行動作，因此造成能量的浪費。

發明內容

本發明是為了解決這種課題而完成的，其目的在于提供一種能夠減少動作所需的能量的成膜裝置及真空腔室的開閉機構。

本發明所涉及的成膜裝置為使成膜材料的粒子附著于成膜對象物的成膜裝置，該成膜裝置具備：真空腔室，具有用于搬入搬出成膜對象物的孔部；閥體，能夠在關閉孔部的第1位置、和不干涉經孔部被搬入搬出的成膜對象物的第2位置之間移動；密封部件，在閥體配置于第1位置時，通過被閥體按壓來密封孔部；第1缸體，為了開閉孔部而移動閥體；及第2缸體，經閥體按壓密封部件。

本發明所涉及的成膜裝置具備為了開閉真空腔室的孔部而移動閥體的第1缸體、及經閥體按壓密封部件的第2缸體。因此，在使閥體從第2位置向比第1位置稍微更靠第2位置側的位置移動時，第1缸體動作，在使閥體移動至第1位置并經閥體按壓密封部件時，第2缸體動作。第1缸體具有使閥體移動較長距離的功能，因此需要較長的行程，但可以不具有按壓密封部件的功能，因此無需較大的缸徑。另一方面，第2缸體具有按壓密封部件的功能，因此需要較大的缸徑，但僅使閥體移動很小的距離即可，因此無需較長的行程。因此，無需行程長且缸徑大的缸體，從而能夠設為無需通過與按壓密封部件時相等的力來移動閥體亦可的結構。綜上，能夠減少動作所需的能量。

并且，本發明所涉及的成膜裝置中，與第1缸體相比，第2缸體可缸徑更大且行程更短。即，第1缸體可為缸徑較小且行程較長的結構。通過這種結構，能夠減少動作所需的能量。

并且，本發明所涉及的成膜裝置可還具備連結于閥體的旋轉軸、及連結于旋轉軸且沿該旋轉軸的徑向延伸的操縱桿，且第1缸體連接于操縱桿的前端側與旋轉軸之間，而第2缸體連接于操縱桿的前端側，從而可經閥體按壓密封部件。操縱桿連結于旋轉軸，旋轉軸連結于閥體。并且，第1缸體連接于操縱桿的前端側與旋轉軸之間，因此通過以第1缸體移動操縱桿，旋轉軸旋轉，閥體也隨之旋轉。通過該旋轉移動，閥體能夠在第2位置、和比第1位置稍微更靠第2位置側的位置之間移動。并且，第2缸體連接于操縱桿的前端側，因此能夠經操縱桿及旋轉軸來以閥體按壓密封部件。綜上，能夠更高效地進行閥體的開閉及密封部件的按壓。

并且，本發明所涉及的成膜裝置中，操縱桿與第2缸體可由連桿部件連接。該連桿部件連接操縱桿和第2缸體，因此即使操縱桿旋轉而其前端側靠近第2缸體，也能夠通過連桿部件來使第2缸體退避。并且，操縱桿按壓第2缸體時，能夠通過連桿部件使第2缸體靠近操縱桿側。綜上，能夠以簡單的結構使第2缸體不干涉操縱桿而順暢地對密封部件進行密封。

并且，本發明所涉及的開閉機構為具有用于搬入搬出成膜對象物的孔部的真空腔室的開閉機構，該真空腔室的開閉機構具備：閥體，能夠在關閉孔部的第1位置、和不干涉經孔部被搬入搬出的成膜對象物的第2位置之間移動；密封部件，在閥體配置于第1位置時，通過被閥體按壓來密封孔部；第1缸體，為了開閉孔部而移動閥體；及第2缸體，對密封部件按壓閥體。

根據本發明所涉及的開閉機構，由于具備為了真空腔室的孔部的開閉而移動閥體的第1缸體、及經閥體按壓密封部件的第2缸體，因此起到與上述成膜裝置相同的作用效果。

發明效果：

根據本發明，能夠減少動作所需的能量。

附圖說明

圖1是表示本發明的實施方式所涉及的成膜裝置的側視圖。

圖2是圖1所示的開閉機構的放大圖。