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[發明專利]一種石英坩堝磨具車裝置在審

專利信息
申請號: 201310579463.3 申請日: 2013-11-16
公開(公告)號: CN104649569A 公開(公告)日: 2015-05-27
發明(設計)人: 祝軍武;高喜梅;張新麗 申請(專利權)人: 西安艾力特電子實業有限公司
主分類號: C03B20/00 分類號: C03B20/00
代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215 代理人: 弋才富
地址: 710065 *** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 石英 坩堝 磨具 裝置
【權利要求書】:

1.一種石英坩堝磨具車裝置,其特征在于:主要是由石墨磨具(1)、水冷套(2)、多孔石墨底座(3)、傾動臺(4)、旋轉軸(5)和電機(6)組成,所述石墨磨具(1)外層套一層水冷套(2),所述石墨磨具(1)的底部裝有多孔石墨底座(3),所述多孔石墨底座(3)置于傾動臺(4)上;所述傾動臺(5)的下部裝有電機(6)。?

2.如權利要求1所述一種石英坩堝磨具車裝置,其特征在于:所述電機(6)通過帶輪I及帶輪II連接旋轉軸(5);水冷套(2)和石墨模具(1)形成一個內腔;旋轉軸(5)上裝有一穿過水冷套(2)和石墨模具(1)中心孔與所述內腔相通形成的真空管道;石墨模具(1)有微氣孔。?

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